Rapidus已開始在其位于北海道北部城市千歲的在建芯片制造設(shè)施中安裝極紫外（EUV）設(shè)備，這使其成為首家接收EUV光刻設(shè)備的日本半導體公司。

“我們將從北海道和日本向全世界提供尖端半導體，”Rapidus CEO小池淳義于新千歲機場舉行的儀式上表示。

由荷蘭供應(yīng)商ASML制造的首批EUV光刻系統(tǒng)部件于上周六抵達機場，預(yù)計該系統(tǒng)在工廠的安裝將在本月底完成。

由于系統(tǒng)體積巨大，安裝將分四個階段進行。一個完整的設(shè)備重達71噸，大約與鯨魚相當，高度為3.4米。

EUV設(shè)備結(jié)合了特殊光源、鏡頭和其他技術(shù)，以形成超精細的電路圖案。系統(tǒng)的龐大體積使其不易受到振動和其他干擾的影響。

ASML是全球唯一的EUV系統(tǒng)供應(yīng)商。每個系統(tǒng)的成本約為1.8億美元或更高。只有少數(shù)芯片制造商采用了它們，包括臺積電、三星電子和英特爾。去年全球僅交付了42套系統(tǒng)。

Rapidus正與IBM合作，計劃在2025年春季開發(fā)使用尖端2nm工藝的原型芯片，并計劃在2027年大規(guī)模生產(chǎn)這些芯片。臺積電計劃在2025年大規(guī)模生產(chǎn)2nm芯片。

日本半導體產(chǎn)業(yè)在1980年代曾占據(jù)全球市場份額的50%以上。但到了2000年代，日本退出了生產(chǎn)越來越小的邏輯芯片的競爭。

目前沒有日本芯片制造商能夠生產(chǎn)比40納米更先進的芯片。（校對/李梅）