歲末年終之際，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下上海凱世通半導(dǎo)體股份有限公司又迎喜訊！近日，凱世通成功向一家新簽集成電路戰(zhàn)略客戶交付了一臺(tái)超低溫離子注入機(jī)，這是繼向該客戶交付首臺(tái)低能大束流設(shè)備僅一個(gè)月后的又一重大進(jìn)展，標(biāo)志著凱世通在集成電路重大裝備國(guó)產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化方面再迎新突破。今年以來(lái)，凱世通持續(xù)發(fā)力，累計(jì)交付20余臺(tái)高端離子注入機(jī)，共計(jì)服務(wù)11家12英寸晶圓廠客戶產(chǎn)業(yè)化大生產(chǎn)。

超低溫離子注入工藝主要用于晶圓預(yù)非晶化處理，可有效減少晶體缺陷，降低漏電流，從而提升晶體管性能，具有極高的技術(shù)難度，應(yīng)用于邏輯、DRAM存儲(chǔ)、功率器件、CIS圖像傳感器等領(lǐng)域。凱世通基于自主創(chuàng)新攻克了超低溫晶圓冷卻及回溫技術(shù)、顆粒污染控制技術(shù)，超低溫注入工藝技術(shù)等一系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出超低溫低能大束流離子注入機(jī)，可實(shí)現(xiàn)零下100℃下的預(yù)非晶化離子注入，具備高可靠性、高均勻性等優(yōu)勢(shì)，滿足了主流晶圓廠量產(chǎn)需求。

離子注入機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備，凱世通致力于為集成電路行業(yè)客戶提供性能先進(jìn)、穩(wěn)定可靠的離子注入設(shè)備與技術(shù)解決方案。通過(guò)不斷的技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品迭代，凱世通離子注入機(jī)設(shè)備性能持續(xù)改進(jìn)，獲得了國(guó)內(nèi)主流晶圓廠客戶的廣泛認(rèn)可與一致好評(píng)，多次獲得重點(diǎn)客戶復(fù)購(gòu)訂單并成功拓展新客戶。

展望未來(lái)，凱世通將繼續(xù)保持銳意進(jìn)取、追求卓越的發(fā)展態(tài)勢(shì)，不斷增強(qiáng)科技實(shí)力與創(chuàng)新能力，沖鋒在前、勇挑重?fù)?dān)，面向國(guó)內(nèi)集成電路行業(yè)客戶需求，推出更多具有創(chuàng)新性和競(jìng)爭(zhēng)力的新產(chǎn)品，服務(wù)國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。