11月26日，中科飛測發(fā)布公告稱，公司股東國投創(chuàng)業(yè)基金、深創(chuàng)投和人才基金計劃減持公司股份。國投創(chuàng)業(yè)基金計劃以集中競價交易和大宗交易的方式減持不超過640萬股，占公司總股本的比例不超過2%。深創(chuàng)投和人才基金計劃以集中競價交易的方式減持合計不超過320萬股，占公司總股本的比例不超過1%。減持期間為自本公告披露之日起十五個交易日后的三個月內(nèi)。減持價格將根據(jù)市場價格確定。本次減持計劃不會對公司治理結構、持續(xù)性經(jīng)營產(chǎn)生影響。

截止目前，國投創(chuàng)業(yè)基金持有公司股份數(shù)量為36,465,943 股，占本公司總股本的11.40%。深創(chuàng)投持有公司9,789,934 股，占公司總股本的3.06%；人才基金持有公司股份數(shù)量為 9,215,221 股，占公司總股本的 2.88%。深創(chuàng)投和人才基金關于公司構成一致行動關系，合計持有公司股份 19,005,155 股，占公司總股本的5.94%。

中科飛測是一家國內(nèi)領先的高端半導體質(zhì)量控制設備公司，成立以來始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

目前，中科飛測產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應用在中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等國內(nèi)主流集成電路制造產(chǎn)線，在一定程度上突破了質(zhì)量控制設備領域國際設備廠商對國內(nèi)市場的長期壟斷局面，量/檢測設備已應用于28nm以上制程的集成電路制造產(chǎn)線。

在檢測設備產(chǎn)品的覆蓋度上，中科飛測目前整體覆蓋三大類，美國KLA在6類產(chǎn)品上有全方位的覆蓋。其中，中科飛測當前實現(xiàn)了無圖形缺陷檢測和圖形缺陷檢測產(chǎn)品的成熟覆蓋，納米形晶圓缺陷檢測設備在積極的研發(fā)進程中。此外，上海微電子持股的上海睿勵主營產(chǎn)品為光學膜厚測量設備和光學缺陷檢測設備，以及硅片厚度及翹曲測量設備等，進入到韓國三星芯片生產(chǎn)線；精測電子旗下上海精測的膜厚產(chǎn)品、電子束設備取得客戶訂單并完成交付。

量價方面，2022年，中科飛測無圖形晶圓缺陷檢測設備銷售數(shù)量47臺，該類別產(chǎn)品自2020年以來呈現(xiàn)逐步增長趨勢，主要是因為SPRUCE-600型號無圖形晶圓缺陷檢測設備研發(fā)成功并經(jīng)下游知名客戶驗證通過后，迅速獲得市場認可，產(chǎn)品平均單價542.34萬元，總體呈上升趨勢；圖形晶圓缺陷檢測設備銷售銷售數(shù)量35臺，平均單價370.60萬元，量價呈現(xiàn)增長態(tài)勢，主要系下游重點客戶對公司設備需求增長和升級型號設備推出及銷售占比提升。

相比海外龍頭廠商，中科飛測的主要差距在于先進制程的產(chǎn)品線缺失和標準部件國產(chǎn)化率偏低。公司目前在28nm產(chǎn)線有多臺設備通過驗收，另有1Xnm的無圖形晶圓缺陷檢測設備在研。而行業(yè)領先企業(yè)KLA的Surfscan無圖形晶圓缺陷檢測系列覆蓋了從5nm以下到40nm以上幾乎所有工藝節(jié)點；此外，當前設備所需原材料中的EFEM和機械手主要來源于日本等境外采購，國產(chǎn)化率較低。