據(jù)海望資本消息，近日，睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司（簡稱“睿勵科學(xué)儀器”）于近日宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯(lián)合領(lǐng)投，河南資產(chǎn)、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進一步提升先進半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。

據(jù)悉，睿勵科學(xué)儀器成立于2015年，致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片工藝檢測設(shè)備。其產(chǎn)品已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，在集成電路芯片制造、LED、OLED、光通訊等領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。作為工藝檢測設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)，睿勵科學(xué)儀器自主研發(fā)的薄膜測量、光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量、光學(xué)缺陷檢測等系列產(chǎn)品填補了我國在該領(lǐng)域的空白，幫助生產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率，提升良率，降低設(shè)備擁有成本，得到了客戶的認可和好評。

睿勵科學(xué)儀器創(chuàng)始人呂彤欣曾是全球第一大量檢測設(shè)備企業(yè)的研發(fā)科學(xué)家，擁有豐富的行業(yè)經(jīng)驗和技術(shù)積累。在他的帶領(lǐng)下，睿勵科學(xué)儀器匯聚了一支來自國際巨頭和國內(nèi)光學(xué)技術(shù)類公司的專業(yè)技術(shù)團隊，致力于開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)的光學(xué)量檢測設(shè)備。

海望資本消息指出，自2019年起，睿勵科學(xué)儀器迎來了新一輪快速發(fā)展。其前道工藝光學(xué)量檢測設(shè)備領(lǐng)域產(chǎn)品線布局處于國產(chǎn)廠商領(lǐng)先地位，尤其是在膜厚及OCD、缺陷檢測系列設(shè)備領(lǐng)域。迄今為止，睿勵科學(xué)儀器仍是唯一進入三星半導(dǎo)體產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備廠商，也是唯一為半導(dǎo)體芯片制造良率控制、提供批量有圖形光學(xué)缺陷檢測設(shè)備的國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)。

在半導(dǎo)體檢測量測設(shè)備領(lǐng)域，全球主要企業(yè)包括KLA、應(yīng)用材料、日立等，其中KLA市占率過半，為行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者。睿勵科學(xué)儀器在獲得浦東科創(chuàng)集團和中微半導(dǎo)體等投資后，憑借其在集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域的卓越表現(xiàn)，被業(yè)界廣泛贊譽為中國的“KLA”。

此外，作為國內(nèi)少數(shù)成規(guī)模的前道量檢測設(shè)備企業(yè)之一，睿勵科學(xué)儀器分別于2009年和2011年承接兩項國家科技重大專項，又相繼承擔(dān)了上海市首批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)項目和上海市第十三批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重大項目。在完成2009年專項的同時，2013年，睿勵科學(xué)儀器成功實現(xiàn)國內(nèi)首臺300mm橢偏膜厚設(shè)備交付。