據(jù)上海交大無錫光子芯片研究院消息，9月25日，在2024集成電路（無錫）創(chuàng)新發(fā)展大會上，上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院建設(shè)的國內(nèi)首條光子芯片中試線啟用，這標志著光子芯片正式步入產(chǎn)業(yè)化快車道，將突破計算范式限制，為大規(guī)模智算帶來新的想象空間，一個屬于光子的輝煌時代即將開啟。

上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院（CHIPX）于2021年12月份在無錫市與上海交通大學(xué)深化全面合作的框架下正式成立，研究院由無錫市濱湖區(qū)人民政府、上海交通大學(xué)、蠡園經(jīng)濟開發(fā)區(qū)三方共同參與建設(shè)。

CHIPX率先在無錫布局國內(nèi)首條光子芯片中試線，以高端光子芯片的研發(fā)為核心，聚焦新一代信息技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，推動量子計算機、通用光子處理器、三維光互連芯片和高精密飛秒激光直寫機等變革性技術(shù)在無錫市落地轉(zhuǎn)化。并圍繞光子芯片中試線平臺的基礎(chǔ)設(shè)施和研發(fā)支撐，建設(shè)核心技術(shù)和產(chǎn)業(yè)形態(tài)聚焦的“光子芯谷”，打造以光子芯片底層技術(shù)為驅(qū)動，面向量子計算、人工智能、光通信、光互連、激光雷達、成像與顯示、智能傳感的新一代光子科技產(chǎn)業(yè)集群。

光子芯片，是新一代信息技術(shù)的核心，能滿足新一輪科技革命中人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、云計算、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域?qū)鬏?、計算、存儲、顯示的技術(shù)需求，已成為經(jīng)濟增長新動能，全球競速的產(chǎn)業(yè)高地。

然而一直以來，國內(nèi)光子芯片行業(yè)面臨中試平臺缺位、工藝技術(shù)壁壘高、良品率驗證低、產(chǎn)能轉(zhuǎn)化不足、國外平臺流片周期長等共性困境，嚴重制約了創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地的“黃金期”。為此，上海交大無錫光子芯片研究院率先在無錫布局國內(nèi)首條高端光子芯片中試線。

據(jù)悉，該中試平臺總面積17000平方米，集科研、生產(chǎn)、服務(wù)于一體，配套設(shè)施完善且配備超100臺國際頂級CMOS工藝設(shè)備，覆蓋了薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻、薄膜沉積、刻蝕、濕法、切割、量測到封裝的全閉環(huán)工藝。平臺還兼顧硅、氮化硅等其他材料體系，搭建N個特色工藝平臺，形成領(lǐng)先的“1+N”先進光子器件創(chuàng)新平臺，結(jié)合“研發(fā)中試+技術(shù)服務(wù)”運營模式，不僅可為高校、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù)，還可以為光子產(chǎn)業(yè)孵化項目，與產(chǎn)業(yè)基金高效聯(lián)動，打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場化的完整鏈條，加速科技成果的商業(yè)化轉(zhuǎn)化。

2021年，無錫濱湖引進上海交通大學(xué)金賢敏團隊，成立上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院；2022年12月中試線正式開工，2023年10月載體封頂，2024年1月首批設(shè)備入場，經(jīng)過緊鑼密鼓地設(shè)備調(diào)試，直至9月正式啟用。

據(jù)悉，中試線正式啟用后，預(yù)計年產(chǎn)能達10000片晶圓，2025年第一季度將正式發(fā)布PDK，提供對外流片服務(wù)。

此外，上海交大無錫光子芯片研究院指出，下階段，研究院將基于6/8寸薄膜鈮酸鋰晶圓，以薄膜鈮酸鋰調(diào)制器為核心，攻克薄膜鈮酸鋰光子芯片產(chǎn)業(yè)化面臨的工程技術(shù)難題，開發(fā)晶圓級芯片量產(chǎn)工藝，實現(xiàn)薄膜鈮酸鋰光子芯片規(guī)模量產(chǎn)，滿足人工智能發(fā)展等大算力需求。同時，研究院構(gòu)建“平臺+孵化+基金”三位一體戰(zhàn)略模式，基于光子芯片底層技術(shù)，以Foundry模式驅(qū)動產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，圍繞芯、光、智、算等新一代信息技術(shù)進行科技成果轉(zhuǎn)化及孵投一體的創(chuàng)業(yè)孵化，打造“光子芯谷”，探索硬科技創(chuàng)新孵化的新范式，助力濱湖乃至無錫形成集群化、規(guī)?；l(fā)展的世界級光子芯谷創(chuàng)新生態(tài)體系。