8月30日，至純科技發(fā)布半年度業(yè)績(jī)報(bào)告稱，2024年上半年，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入15.28億元，同比增長(zhǎng)3.23%。歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為7374.34萬(wàn)元，同比下降32.19%。

至純科技稱，公司旗下至微科技是國(guó)內(nèi)濕法設(shè)備主要供應(yīng)商之一，能夠覆蓋晶圓制造中包括邏輯電路、高密度存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體特色工藝等多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的市場(chǎng)需求。目前濕法設(shè)備在 28 納米節(jié)點(diǎn)設(shè)備開(kāi)發(fā)已經(jīng)全部完成，且全工藝機(jī)臺(tái)均有訂單，在更先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)，至微也已取得部分工藝訂單。2024 年上半年，至純科技半導(dǎo)體制程設(shè)備新簽訂單達(dá)6.26億元，較去年同期實(shí)現(xiàn)了大幅增長(zhǎng)，尤其在高溫硫酸、FIN ETCH、單片磷酸等尚被國(guó)際廠商壟斷的機(jī)臺(tái)，公司交付和驗(yàn)證進(jìn)度都在國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。

目前，至純科技高端產(chǎn)品包括 SPM 高溫硫酸、去膠、晶背清洗等清洗設(shè)備取得突破，并交付給多家國(guó)內(nèi)主流晶圓廠，其中至微的 S300 SPM 機(jī)臺(tái)單設(shè)備在用戶量產(chǎn)線上持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，是高階濕法設(shè)備國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)口的重要里程碑。以支持設(shè)備為主的系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)仍保持持續(xù)增長(zhǎng)，公司已成為國(guó)內(nèi)最大的高純工藝系統(tǒng)支持設(shè)備供應(yīng)商，目前支持設(shè)備業(yè)務(wù)量接近系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)總量的 40%，有效替代并改變了原先由國(guó)外氣體公司壟斷的供給格局。公司系統(tǒng)集成及支持設(shè)備國(guó)內(nèi)龍頭地位穩(wěn)固，公司系統(tǒng)集成及支持設(shè)備已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn) ppb（十億分之一）級(jí)的不純物控制，核心技術(shù)強(qiáng)于國(guó)內(nèi)競(jìng)爭(zhēng)者，在用戶應(yīng)用需求牽引下開(kāi)發(fā)的個(gè)別功能超越國(guó)際品牌。核心客戶均為行業(yè)一線集成電路制造企業(yè)如中芯國(guó)際、華虹、上海華力、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微等。

在電子材料方面，至純科技為客戶提供部件材料與專業(yè)服務(wù)，涵蓋設(shè)備零部件的供應(yīng)、大宗氣站服務(wù)、部件清洗服務(wù)、晶圓再生服務(wù)、晶圓工廠駐廠服務(wù)等。大宗氣站的新業(yè)務(wù)拓展進(jìn)程順利。由公司投資和設(shè)計(jì)建設(shè)的國(guó)內(nèi)首座完全國(guó)產(chǎn)化的 12 英寸晶圓對(duì)應(yīng) 28 納米及以上的大宗氣體供應(yīng)工廠指標(biāo)完全達(dá)標(biāo)，報(bào)告期內(nèi)持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行，成功打破了半導(dǎo)體級(jí)大宗氣由國(guó)際供應(yīng)商壟斷的格局，實(shí)現(xiàn)了該制程節(jié)點(diǎn)國(guó)內(nèi)自主大宗氣站零的突破。目前公司第二座大宗氣站已經(jīng)在報(bào)告期內(nèi)已進(jìn)入運(yùn)營(yíng)階段。