據(jù)珠海高新區(qū)消息，2月10日，珠海至微半導(dǎo)體零部件清洗項目正式動工。標(biāo)志著上海至純科技在華南地區(qū)的戰(zhàn)略布局邁出重要一步，將進(jìn)一步推動半導(dǎo)體零部件清洗服務(wù)的升級與發(fā)展，為華南地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展帶來新的活力與機(jī)遇。該項目建成后，可為珠三角半導(dǎo)體晶圓廠提供關(guān)鍵制程設(shè)備的零部件精密清洗和翻修服務(wù)，進(jìn)一步完善珠海集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈與產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

（來源：珠海高新區(qū)）

2024年9月23日，至純科技半導(dǎo)體零部件清洗項目簽約落戶珠海高新區(qū)，該項目由珠海高新區(qū)和橫琴粵澳深度合作區(qū)聯(lián)動協(xié)作引進(jìn)，在珠海高新區(qū)建設(shè)規(guī)?；陌雽?dǎo)體清洗工廠。該項目廠房總面積4200平方米，配置10級無塵車間，含4條獨立制程清洗產(chǎn)線和表面處理產(chǎn)線，年清洗產(chǎn)能36萬件，主要為半導(dǎo)體晶圓廠提供關(guān)鍵制程設(shè)備的零部件精密清洗和翻修服務(wù)，為設(shè)備零部件延長使用壽命，降低工廠運(yùn)營成本。項目建成后可為珠三角半導(dǎo)體晶圓廠提供“2小時配套圈”服務(wù)。

珠海至微半導(dǎo)體科技有限公司是A股上市公司上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）的子公司，至純科技主要從事半導(dǎo)體制程和廠務(wù)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)以及半導(dǎo)體零部件清洗服務(wù)，年營收約人民幣40億元。

據(jù)了解，作為珠海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主陣地，2024年，珠海高新區(qū)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)規(guī)模實現(xiàn)106億元，同比增長22%。現(xiàn)有企業(yè)總數(shù)97家，占全市總數(shù)近70%。