據(jù)企查查信息顯示，近日國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備供應(yīng)商常州煜輝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡稱：煜輝半導(dǎo)體）已順利完成近億元A輪融資。本輪融資由國內(nèi)投資頭部企業(yè)——深圳市創(chuàng)新投資集團(tuán)有限公司（簡稱：深創(chuàng)投）及紅土一號私募股權(quán)投資基金共同出資完成。        

常州煜輝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是一家以技術(shù)和市場驅(qū)動的半導(dǎo)體企業(yè)，其子公司江蘇維普光電是國內(nèi)首家半導(dǎo)體光掩模檢測設(shè)備企業(yè)。

圖1 公司潔凈車間圖

2 公司產(chǎn)品介紹       

公司總部位于江蘇常州高新區(qū)，是國內(nèi)首家開發(fā)并商用的半導(dǎo)體掩模圖形缺陷檢測設(shè)備企業(yè)，公司產(chǎn)品包括：IC掩模檢測、FPD掩模檢測、晶圓檢測、晶圓及掩模量測3大領(lǐng)域5大類產(chǎn)品，其中，半導(dǎo)體掩模檢測STORM 系列設(shè)備，已全面應(yīng)用于國內(nèi)Maskshop客戶，對標(biāo)業(yè)界頭部企業(yè)美國K公司、日本L公司部分機(jī)型，檢測精度、效率上超越對應(yīng)型號機(jī)型，共累計出貨近40套，其中量產(chǎn)機(jī)型STORM 3000滿足130nm制程，交付中芯國際（上海）、華潤微、中微掩模、龍圖光罩、路維光電等國內(nèi)頭部客戶，穩(wěn)定的性能表現(xiàn)帶來老客戶的連續(xù)復(fù)購與新客戶的一致認(rèn)可。產(chǎn)品銷售涉及中國大陸及臺灣省、歐州等國家地區(qū)。

本輪融資將用于下一代掩模檢測機(jī)臺STORM 5000、前道晶圓檢測Tornado 3000的研發(fā)及生產(chǎn)制造，下一代機(jī)型將應(yīng)用于半導(dǎo)體制造更高制程，滿足國內(nèi)大多數(shù)客戶業(yè)務(wù)需求。