信息產(chǎn)業(yè)和數(shù)字經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供持續(xù)強(qiáng)勁的市場(chǎng)需求，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)快速發(fā)展的黃金十年，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成長(zhǎng)率尤其亮眼。但是我們也清醒地認(rèn)識(shí)到，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)水平相對(duì)業(yè)界先進(jìn)地區(qū)仍然有較大的差距，尤其是半導(dǎo)體設(shè)備。為提升中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)水平，促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)交流與合作，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)主辦系列半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及技術(shù)專題網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)。3月30日第一期研討會(huì)以業(yè)界關(guān)心的半導(dǎo)體設(shè)備為主題，深圳市埃芯半導(dǎo)體科技有限公司協(xié)辦，舉行了半導(dǎo)體晶圓制造前道量測(cè)技術(shù)網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)，會(huì)上產(chǎn)業(yè)專家和領(lǐng)袖分享了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展觀點(diǎn)和把脈技術(shù)發(fā)展方向。

研討會(huì)由中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)執(zhí)行秘書長(zhǎng)靳陽(yáng)葆主持，特邀嘉賓SEMI（國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁居龍先生，主講嘉賓深圳市埃芯半導(dǎo)體科技有限公司董事長(zhǎng)兼CEO張雪娜博士，研討嘉賓中科院微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心首席科學(xué)家朱慧瓏博士和中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)專家委員會(huì)委員、副總工程師余山博士參加了研討。埃芯半導(dǎo)體CEO張雪娜博士做了”創(chuàng)新協(xié)同，面向未來(lái)的半導(dǎo)體量測(cè)技術(shù)“主題演講。

在半導(dǎo)體制造業(yè)高速發(fā)展的背景下，晶圓制造加工過(guò)程中的量測(cè)和檢測(cè)技術(shù)及設(shè)備，成為工藝進(jìn)步和制造工藝質(zhì)量控制的重要保障，圍繞半導(dǎo)體制造質(zhì)量管理相關(guān)的量測(cè)和檢測(cè)技術(shù)也成為國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新的焦點(diǎn)。本次研討聚焦半導(dǎo)體制造前道量測(cè)和檢測(cè)技術(shù)發(fā)展及其在制造工藝中應(yīng)用的技術(shù)挑戰(zhàn)，以及未來(lái)的技術(shù)發(fā)展方向。

特邀嘉賓

居龍

SEMI全球副總裁

中國(guó)區(qū)總裁

居龍先生對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀和產(chǎn)業(yè)鏈重組做了分析，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處在一個(gè)快速增長(zhǎng)的超級(jí)周期，缺芯，缺產(chǎn)能，設(shè)備交期延長(zhǎng)，人才短缺，設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)也處在一個(gè)高點(diǎn)，去年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額超過(guò)了1000億美元，實(shí)現(xiàn)了44%的增長(zhǎng)。其中半導(dǎo)體前道設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)為890億美元，達(dá)到了過(guò)去10年創(chuàng)記錄的新高，預(yù)估今年的半導(dǎo)體前道設(shè)備市場(chǎng)將成長(zhǎng)12%，突破1000億美元。

關(guān)于全球半導(dǎo)體制造Capex投資增長(zhǎng), 中國(guó)大陸在2021年的投資增長(zhǎng)排名全球第一，根據(jù)目前預(yù)測(cè)，2022年臺(tái)灣地區(qū)或韓國(guó)的投資增長(zhǎng)會(huì)相對(duì)比較領(lǐng)先，臺(tái)積電投資達(dá)到近400億美元，三星將會(huì)達(dá)到360億美元，國(guó)際和國(guó)內(nèi)市場(chǎng)都會(huì)有顯著的增長(zhǎng)，為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)帶來(lái)了巨大的機(jī)會(huì)。居龍先生同時(shí)分析了美國(guó)、韓國(guó)、歐盟、日本等國(guó)對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的打造計(jì)劃，包括美國(guó)政府剛剛通過(guò)的520億美元競(jìng)爭(zhēng)法案，根據(jù)預(yù)測(cè)未來(lái)10年美國(guó)會(huì)增加19座Fab，包括Intel和臺(tái)積電等，另外歐洲也增加了430億歐元芯片投資法案。在過(guò)去幾十年，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈從美國(guó)、歐洲，日本、臺(tái)灣地區(qū)到中國(guó)大陸，經(jīng)過(guò)了全球化的分工，已經(jīng)形成了一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)鏈。但是，現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)鏈在被逐步打亂，半導(dǎo)體的發(fā)展已經(jīng)提高到了產(chǎn)業(yè)安全，甚至國(guó)家安全的高度，產(chǎn)業(yè)鏈的重整已經(jīng)不可避免，局部脫鉤是當(dāng)前的趨勢(shì)，但是，全球化整體趨勢(shì)的大格局應(yīng)該不會(huì)改變，因?yàn)闆](méi)有任何一個(gè)國(guó)家可以獨(dú)立打造全產(chǎn)業(yè)鏈，要開放包容，深化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)的全球合作，同時(shí)還要加強(qiáng)核心技術(shù)的研發(fā)。居龍先生對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展保持樂(lè)觀，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的增長(zhǎng)也會(huì)給國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司帶來(lái)快速成長(zhǎng)的機(jī)會(huì)，在中國(guó)也出現(xiàn)了像埃芯半導(dǎo)體這樣的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備公司。

主講嘉賓

張雪娜

埃芯半導(dǎo)體CEO  

深圳市埃芯半導(dǎo)體科技有限公司CEO張雪娜博士作為主講嘉賓發(fā)表了以《創(chuàng)新協(xié)同，面向未來(lái)的半導(dǎo)體量測(cè)技術(shù)》為主題的精彩演講。張博士從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體增長(zhǎng)談起，未來(lái)十年是半導(dǎo)體行業(yè)的黃金10年，整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)值將會(huì)達(dá)到1萬(wàn)億美金，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)已經(jīng)達(dá)到千億美金以上，中國(guó)半導(dǎo)體是最大的消費(fèi)市場(chǎng)，晶圓制造卻嚴(yán)重依賴海外晶圓廠，中國(guó)大陸的晶圓制造產(chǎn)能只有大概6%左右的占比；另外中國(guó)大陸也是最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，占全球設(shè)備市場(chǎng)的18.7%左右，但是半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)還是嚴(yán)重依賴國(guó)外設(shè)備，尤其是美國(guó)設(shè)備，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)占比只有7%，其中前道量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化程度更低，只有不到2%的占比。

半導(dǎo)體量檢測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體晶圓制造工廠的關(guān)鍵工序，量檢測(cè)設(shè)備會(huì)應(yīng)用到晶圓生產(chǎn)的每一道制程工藝，作為半導(dǎo)體晶圓制造的“眼睛”，對(duì)晶圓制造良率控制和提升起到至關(guān)重要的作用，量檢測(cè)設(shè)備占整個(gè)半導(dǎo)體前道設(shè)備市場(chǎng)的10%左右。

量測(cè)解決方案對(duì)晶圓工廠的研發(fā)，爬坡，量產(chǎn)等不同階段有不同側(cè)重點(diǎn)，對(duì)設(shè)備的參數(shù)也有不同要求，半導(dǎo)體前道量測(cè)在晶圓制造中有膜厚，關(guān)鍵尺寸，材料分析，overlay量測(cè)等主要應(yīng)用場(chǎng)景，在不同的應(yīng)用場(chǎng)景中，技術(shù)關(guān)注點(diǎn)也各有差異，并且隨著節(jié)點(diǎn)進(jìn)步，工藝演進(jìn)，材料升級(jí)等技術(shù)變化對(duì)量測(cè)方案也提出了更多的挑戰(zhàn)，同時(shí)隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的進(jìn)步,大數(shù)據(jù)、AI以及machine learning也成為提升量測(cè)能力的重要解決方案之一。

埃芯半導(dǎo)體以物理學(xué)原理為基礎(chǔ)結(jié)合先進(jìn)的自動(dòng)化裝備技術(shù)，自主研發(fā)了互補(bǔ)性的光學(xué)量測(cè)和X-ray前道量測(cè)協(xié)同解決方案，為客戶創(chuàng)造獨(dú)特價(jià)值，幫助客戶在更短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到更高的良率，為實(shí)現(xiàn)高端量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代，以及開發(fā)行業(yè)創(chuàng)新性的設(shè)備而持續(xù)努力。

半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)是一個(gè)比較硬核的產(chǎn)業(yè)，需要結(jié)合非常強(qiáng)的物理學(xué)原理，同時(shí)也需要諸多精密儀器，器件以及自動(dòng)化，零部件廠商同步努力和協(xié)助，也需要很多愿意犧牲，愿意付出以及具有情懷的優(yōu)秀人才，躬身入局，持續(xù)努力，共同推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的進(jìn)步，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，開發(fā)擁有自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)，創(chuàng)新型的產(chǎn)品，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的健康發(fā)展。

研討嘉賓

朱慧瓏

中科院微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心首席科學(xué)家 

朱慧瓏博士結(jié)合他長(zhǎng)期國(guó)內(nèi)外的半導(dǎo)體行業(yè)的先進(jìn)工作經(jīng)驗(yàn)，提出了很多中肯建議，中國(guó)半導(dǎo)體要取得進(jìn)步，必須要認(rèn)真態(tài)度，長(zhǎng)期堅(jiān)持。長(zhǎng)期但不認(rèn)真，產(chǎn)生不了先進(jìn)；認(rèn)真但不長(zhǎng)期，積累沒(méi)有價(jià)值；Know-how技術(shù)要注重細(xì)節(jié)，不能指望彎道超車，知識(shí)產(chǎn)權(quán)要關(guān)注重點(diǎn)，超前布局；在知識(shí)產(chǎn)權(quán)中儲(chǔ)備特點(diǎn)，在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中賽出先進(jìn)。同時(shí)朱博士還分析了FinFET和Nano Sheet FET等先進(jìn)晶體管及其制造工藝在量測(cè)技術(shù)方面的主要需求和相關(guān)難點(diǎn)。

余山  

中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)專家委員會(huì)委員、副總工程師

余山博士擁有多年半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)線工作經(jīng)驗(yàn)，他從集成電路制造角度分析了量測(cè)和檢測(cè)設(shè)備應(yīng)用范圍和技術(shù)難點(diǎn)，余博士認(rèn)為檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備是半導(dǎo)體設(shè)備最難的領(lǐng)域之一，因?yàn)樗婕暗闹R(shí)面非常廣，工程化非常困難，比如半導(dǎo)體光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)化率非常低，包括光刻和量檢測(cè)設(shè)備。同時(shí)半導(dǎo)體制造技術(shù)節(jié)點(diǎn)在持續(xù)進(jìn)步，技術(shù)實(shí)現(xiàn)更加困難，新材料的應(yīng)用范圍也越來(lái)越廣，量檢測(cè)設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域也會(huì)越來(lái)越廣泛，對(duì)測(cè)量的精度，吞吐量，以及算法，大數(shù)據(jù)等技術(shù)方面都提出了更高的挑戰(zhàn)，另外很多量測(cè)設(shè)備的波長(zhǎng)需求也會(huì)越來(lái)越短，比如埃芯半導(dǎo)體開發(fā)的短波長(zhǎng)X射線設(shè)備會(huì)越來(lái)越有市場(chǎng)應(yīng)用前景，挑戰(zhàn)和機(jī)遇并存，國(guó)產(chǎn)量測(cè)和檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域具有廣闊的發(fā)展前景。

本次研討會(huì)圓滿舉行，埃芯半導(dǎo)體和行業(yè)大咖，技術(shù)專家，線上聽眾進(jìn)行了深入的討論和交流，引起了行業(yè)的廣泛關(guān)注。埃芯半導(dǎo)體會(huì)堅(jiān)持創(chuàng)新，深耕半導(dǎo)體量檢測(cè)市場(chǎng)，為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)健康發(fā)展提供助力。