日本工業(yè)氣體制造商關東電化工業(yè)株式會社（Kanto Denka Kogyo Co.）位于東京西北部群馬縣澀川市的三氟化氮（NF3）工廠近日發(fā)生火災，引發(fā)半導體供應鏈可能中斷的擔憂?；馂脑斐梢幻と怂劳?，另一名工人受傷。據(jù)該公司透露，工廠的兩條生產(chǎn)線中的一條遭受部分損壞，已暫停運營。

三氟化氮是半導體制造中用于蝕刻和成膜工藝的關鍵材料，也用于清潔被稱為“腔室”的容器。關東電化在該領域的國內(nèi)生產(chǎn)份額超過90%。盡管鎧俠控股株式會社（Kioxia Holdings Corp.）表示，由于有其他氣體來源和剩余庫存，此次火災不會對生產(chǎn)和7-9月的收益產(chǎn)生直接影響，但市場仍對此保持高度關注。

巖井科斯莫證券高級分析師Kazuyoshi Saito指出，關東電化的客戶包括三星電子公司、鎧俠、索尼和美光科技公司。如果該工廠長期關閉，可能會加劇那些為滿足人工智能需求而全力生產(chǎn)的制造商的產(chǎn)能緊縮。

此次火災再次暴露了半導體供應鏈的脆弱性。2020年，旭化成位于宮崎縣延岡市的一家半導體工廠發(fā)生火災，曾影響包括汽車生產(chǎn)在內(nèi)的多個行業(yè)。近年來，海外公司在NF3生產(chǎn)方面的實力不斷增強，而日本國內(nèi)制造商幾乎完全依賴于關東電化。

今年5月，三井化學公司宣布將于2026年3月底停止NF3的生產(chǎn)，理由是價格競爭加劇和原材料成本上漲導致難以確保利潤。日本政府為加強國內(nèi)半導體供應鏈，向相關制造設備和材料制造商提供補貼，并于2012年通過日本投資公司（JIC）收購了半導體材料光刻膠制造商JSR，呼吁行業(yè)重組。

然而，經(jīng)營半導體原材料和制造設備的公司眾多，提供全面支持以維持供應鏈穩(wěn)定仍面臨挑戰(zhàn)。此次火災事件無疑將促使業(yè)界和政府進一步審視和加強半導體供應鏈的韌性和安全性。