什么是EqFuse？

EqFuse設(shè)備智能系列，是智現(xiàn)未來專為半導(dǎo)體設(shè)備廠商打造的設(shè)備內(nèi)置OEM智能化解決方案。方案凝聚了智現(xiàn)未來20余年的半導(dǎo)體工業(yè)軟件積淀，深度融合腔室匹配（Chamber Matching）、故障監(jiān)測與分類（FDC）及配方管理系統(tǒng)（RMS）等工程智能產(chǎn)品功能。并結(jié)合最優(yōu)算法、大數(shù)據(jù)、大語言模型及AI技術(shù)，為設(shè)備配置“可對話、會思考、能優(yōu)化”的智能腦，實現(xiàn)智能化故障診斷及預(yù)測、自我調(diào)優(yōu)與智能制造，最大化設(shè)備價值和生產(chǎn)效率。

憑借卓越的性能表現(xiàn)，EqFuse已獲得國產(chǎn)設(shè)備巨頭的青睞并成功應(yīng)用。

這些功能，讓設(shè)備從“按部就班”變“智能生產(chǎn)”

① 腔室匹配（Chamber Matching）

腔室匹配（Chamber Matching）是EqFuse的核心功能，能幫助設(shè)備工程師快速分析設(shè)備/腔室（Chamber）之間差距，節(jié)約調(diào)機(jī)時間。

以薄膜沉積為例，芯片加工Layer往往達(dá)到百層之多，因設(shè)備和腔室的差異，無法確保工藝表現(xiàn)的一致性。傳統(tǒng)方式依賴工程師經(jīng)驗和手動對比分析，尋找問題根因，通常要耗費數(shù)小時甚至數(shù)天時間。

薄膜沉積的非一致性

設(shè)備內(nèi)置Chamber Matching腔室匹配功能，可實現(xiàn)全面自動化智能分析，大大縮短分析時間，重新定義智能設(shè)備解決方案：

腔室并行分析，不受個數(shù)限制。

基于成功驗證的最優(yōu)算法自動識別匹配“最佳腔室”，進(jìn)行差異比對

Full Trace全參數(shù)對比分析

精確定位失配參數(shù)和具體失配Step

一鍵關(guān)聯(lián)FDC驗證：一鍵跳轉(zhuǎn)FDC追溯詳情分析頁面，驗證失配參數(shù)的匹配度結(jié)果。

② FDC 故障監(jiān)測與分類——故障預(yù)警哨兵

實時監(jiān)測生產(chǎn)過程中設(shè)備的運行狀態(tài)，取代生產(chǎn)結(jié)束后檢測，提前捕捉異常，精準(zhǔn)定位問題源頭，為排查問題、設(shè)備優(yōu)化提供有力支撐。（點擊了解FDC詳細(xì)功能介紹）

③ RMS 工藝配方管理——配方安全堡壘

通過中央控制將配方與設(shè)備無縫對接，優(yōu)化生產(chǎn)流程，大幅提升管理效率，實現(xiàn)智能化、高效化配方管理。

④ AI+RCA故障根因分析——故障定位雷達(dá)

融合智現(xiàn)未來行業(yè)垂直大模型“靈犀”，智能診斷設(shè)備原因。綜合分析配方/設(shè)備常數(shù)/設(shè)備變更記錄等多方面數(shù)據(jù)，從而快速、精準(zhǔn)定位設(shè)備問題的根源。

⑤ AI Assistant：設(shè)備“百事通”，比設(shè)備工程師更“懂”設(shè)備

融合智現(xiàn)未來200+行業(yè)場景、40TB半導(dǎo)體行業(yè)資料、專業(yè)論文知識、工程師工單/報告等打造的AI Assistant知識庫服務(wù)，可實現(xiàn)故障解答、故障案例的快速召回顯示、出處定位可視化、自動調(diào)取設(shè)備參數(shù)、設(shè)備故障排查與維修方案推薦等，極大提升了故障排查效率，比設(shè)備工程師更“懂”設(shè)備。

⑥ AI+EHM健康預(yù)測管理

結(jié)合歷史數(shù)據(jù)與云計算能力、預(yù)測算法、大語言模型等技術(shù)手段，識別出非正常模式下的早期異常信號，提前精準(zhǔn)預(yù)測故障，生成詳盡的維護(hù)計劃。這一舉措改變了以往嚴(yán)重依賴?yán)蠋煾到?jīng)驗、缺乏系統(tǒng)科學(xué)預(yù)判手段的局面，從“被動處理”到“自主防御”，大幅提升了設(shè)備故障的預(yù)防與處理能力，減少了因設(shè)備故障造成的生產(chǎn)中斷。

More+

EqFuse還支持“設(shè)備監(jiān)控-設(shè)備分析-設(shè)備預(yù)測-設(shè)備控制及智能監(jiān)控-智能決策”全鏈條定制開發(fā)方案，為客戶打造更智能、更穩(wěn)定的半導(dǎo)體設(shè)備。

EqFuse，為設(shè)備廠商打造差異化競爭力

對設(shè)備廠商而言，EqFuse可不是簡單的“軟件加成”，而是能讓設(shè)備在市場中脫穎而出的“制勝法寶”。

交付快一步，客戶更滿意

EqFuse顯著增強(qiáng)設(shè)備的生產(chǎn)控制能力，實現(xiàn)實時監(jiān)控與智能調(diào)優(yōu)，大大節(jié)省設(shè)備在客戶現(xiàn)場的安裝和調(diào)優(yōu)時間，加速交付流程，客戶早投產(chǎn)，設(shè)備廠商口碑與復(fù)購率也能大幅提升。

裝機(jī)即用，降低開發(fā)門檻

內(nèi)置多種工程智能軟件，設(shè)備廠商無需額外研發(fā)即可讓設(shè)備實現(xiàn)“裝機(jī)即用”的智能腦。相比傳統(tǒng)設(shè)備，智能化屬性讓產(chǎn)品在競標(biāo)中更易脫穎而出。

從“硬件”到“方案”，利潤空間再提升

打破“純銷售設(shè)備+客戶后期采購軟件”的舊模式，以“設(shè)備+內(nèi)置智能系統(tǒng)”的整體方案切入市場，形成有利的差異化競爭優(yōu)勢，憑借高附加值軟件服務(wù)提升盈利空間。

從追求“局部最優(yōu)”到“全局最優(yōu)”，生產(chǎn)效能再升級

以往設(shè)備優(yōu)化可能局限于單一環(huán)節(jié)，比如只專注腔室匹配或者只盯故障監(jiān)測。而 EqFuse能打通“設(shè)備監(jiān)控-設(shè)備分析-設(shè)備預(yù)測-設(shè)備控制及智能監(jiān)控-智能決策”運行全流程，做到“全局最優(yōu)”，幫助客戶實現(xiàn)生產(chǎn)效能的系統(tǒng)性提升。

數(shù)據(jù)驅(qū)動決策，設(shè)備因智而強(qiáng)——這是智現(xiàn)未來對EqFuse工具的研發(fā)初衷。我們希望通過EqFuse設(shè)備智能系列，讓每一臺設(shè)備都擁有“可對話、會思考、能優(yōu)化”的智能腦，實現(xiàn)設(shè)備性能的“全局最優(yōu)”；更希望以此為支點，助力設(shè)備廠商客戶以“設(shè)備+軟件”的創(chuàng)新模式突破競爭壁壘，在半導(dǎo)體設(shè)備智能化的浪潮里筑牢核心優(yōu)勢。