天眼查顯示，上海陸芯電子科技有限公司“一種IGBT器件制備方法及IGBT器件”近日取得一項名為“一種用于修整研磨輪的裝置和方法”的專利，授權公告號為 CN118156130B，授權公告日為2025年3月14日，申請日為2024年4月9日。

本發(fā)明公開了一種IGBT器件制備方法及IGBT器件。該IGBT器件制備方法包括：提供一N型襯底；N型襯底具有較低電阻率；在N型襯底的正面淀積電阻率高于N型襯底的電阻率的至少一層N型漂移區(qū)；在N型襯底的背面進行離子注入，形成N型緩沖層；其中，N型緩沖層的電阻率小于N型襯底的電阻率；在N型緩沖層的背面進行離子注入，形成P型集電極；在N型漂移區(qū)遠離N型襯底的一側形成IGBT功能結構；其中，IGBT功能結構包括至少一個溝槽柵結構，溝槽柵結構的底部嵌于N型漂移區(qū)內部。本發(fā)明實施例的技術方案有利于減小FS?IGBT功率器件的開關損耗，提高FS?IGBT功率器件的開關速度，并且減小器件的開關震蕩。