2025年4月28日,以"智感萬物 創(chuàng)領(lǐng)未來"為主題的2025 MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新領(lǐng)航大會在湖北孝感隆重開幕。本次大會由孝感高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)、湖北大學(xué)、武漢產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展研究院主辦,高端芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟、武創(chuàng)芯研科技(武漢)有限公司承辦,匯聚了來自全國各地的行業(yè)專家學(xué)者、企業(yè)代表及省市有關(guān)部門領(lǐng)導(dǎo)300余人,共同探討MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新與未來發(fā)展。
中國科學(xué)院院士、武漢大學(xué)工業(yè)科學(xué)研究院執(zhí)行院長、高端芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟理事長劉勝,湖北大學(xué)副校長劉志洪,孝感市委常委、秘書長帥遜,湖北省經(jīng)濟(jì)和信息化廳電子信息產(chǎn)業(yè)處處長關(guān)建新,武漢產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展研究院院長助理劉維華,孝感高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)黨工委副書記、管委會主任舒俊出席本次大會。
開幕式
高瞻遠(yuǎn)矚,共繪產(chǎn)業(yè)藍(lán)圖
大會開幕式上,孝感市委常委、秘書長帥遜發(fā)表致辭,他向所有蒞臨現(xiàn)場的嘉賓和參會代表表達(dá)了最熱烈的歡迎。他指出,孝感作為全國重要的光電子信息產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)基地,始終堅持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略,加快推動科技創(chuàng)新向高而攀、產(chǎn)業(yè)發(fā)展向新圖強(qiáng)。目前,孝感正以傳感器為支點,撬動著萬億級智能感知產(chǎn)業(yè)生態(tài)。他強(qiáng)調(diào),孝感要以此次大會為契機(jī),錨定“打造武漢都市圈重要節(jié)點城市”目標(biāo),以技術(shù)破壁、生態(tài)重構(gòu)、產(chǎn)業(yè)升級為抓手,加快構(gòu)建產(chǎn)學(xué)研用開放平臺,探索“核心技術(shù)自主化、產(chǎn)業(yè)生態(tài)全球化、城市能級躍遷化”發(fā)展路徑,奮力打造中國傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。
湖北大學(xué)副校長劉志洪在致辭中表示,湖北大學(xué)始終以“科技報國”為使命,瞄準(zhǔn)電子信息領(lǐng)域“卡脖子”難題,聚焦微電子學(xué)科前沿,強(qiáng)化學(xué)科交叉融合,致力于培養(yǎng)具有國際視野、掌握多學(xué)科知識的高端創(chuàng)新型人才及面向產(chǎn)業(yè)實踐、具備產(chǎn)業(yè)思維的工程型人才。他還表示,期望通過校企地多方合作,能夠依托孝感市的算力底座、微機(jī)電與傳感技術(shù)產(chǎn)業(yè)需求,與湖北大學(xué)的學(xué)科人才科研集群優(yōu)勢形成強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)動,從而深度拓展合作場景,實現(xiàn)資源共享、優(yōu)勢互補(bǔ)。
武漢產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展研究院院長助理劉維華在致辭中表示,武創(chuàng)院是武漢市政府舉辦的綜合性高能級新型研發(fā)機(jī)構(gòu),承擔(dān)著推動科技創(chuàng)新與體制機(jī)制創(chuàng)新、促進(jìn)科技與產(chǎn)業(yè)深度融合的重要使命。他特別強(qiáng)調(diào),武創(chuàng)院作為武漢市重點打造的高能級創(chuàng)新平臺,愿在促進(jìn)漢孝創(chuàng)新合作中率先當(dāng)好橋梁與紐帶。
孝感高新區(qū)黨工委副書記、管委會主任舒俊作《孝感高新區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃介紹》,他介紹,孝感市將設(shè)立10億元的傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金,助力更多科研成果實現(xiàn)從“1”到“100”的轉(zhuǎn)化。他表示,當(dāng)前美國對華技術(shù)封鎖加劇,傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)、智能制造、汽車電子等領(lǐng)域的核心部件,其自主創(chuàng)新迫在眉睫。孝感高新區(qū)是湖北省重點高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū),已形成電子信息技術(shù)、高端裝備制造等產(chǎn)業(yè)集群。憑借區(qū)位優(yōu)勢,孝感高新區(qū)積極通過“光芯屏端網(wǎng)”等戰(zhàn)略布局對接武漢“中國光谷”,承接產(chǎn)業(yè)溢出效應(yīng),逐步形成傳感器產(chǎn)業(yè)鏈配套能力。
為加強(qiáng)優(yōu)勢互補(bǔ)、促進(jìn)技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化落地,為孝感高新區(qū)搶占智能傳感產(chǎn)業(yè)鏈的核心節(jié)點提供支撐,孝感市政府與高端芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟達(dá)成戰(zhàn)略合作,共建先進(jìn)傳感器聯(lián)合創(chuàng)新基地,并將該基地設(shè)在孝感高新區(qū)。聯(lián)盟理事長劉勝院士與孝感高新區(qū)黨工委副書記、管委會主任舒俊共同為基地揭牌。
主旨報告
前沿技術(shù)引領(lǐng)未來
主旨報告環(huán)節(jié),劉勝院士作題為《傳感器虛擬制造》的報告。他詳細(xì)闡述了MEMS傳感器在汽車、人形機(jī)器人方面的應(yīng)用,以及高端MEMS面臨工藝步驟復(fù)雜、自動化/智能化程度低、標(biāo)準(zhǔn)化程度低、封測成本高等共性問題,介紹了關(guān)鍵工藝建模仿真、晶圓級封裝、扇出型封裝、晶圓級測試以及MEMS標(biāo)準(zhǔn)化的主要進(jìn)展,表示可以通過虛擬制造技術(shù)縮短研發(fā)周期,提升產(chǎn)品一致性、可靠性和耐久性,解決封裝中的應(yīng)力、污染、分層等問題。
無錫物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新中心有限公司總經(jīng)理陳大鵬以《萬物互聯(lián) 感知先行》為題,介紹了無錫物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新中心有限公司“一感兩網(wǎng)”業(yè)務(wù)布局,分享了國產(chǎn)MEMS產(chǎn)業(yè)的機(jī)遇與挑戰(zhàn),并表示為解決行業(yè)痛點,公司推出“芯工坊”平臺,整合EDA設(shè)計、IP服務(wù)、晶圓代工、封裝測試等全鏈條資源,目標(biāo)是打破國際壟斷,推動中國MEMS產(chǎn)業(yè)從“跟跑”到“并跑”的跨越。
北京賽微電子股份有限公司副總經(jīng)理、首席科學(xué)家陸原深入分析了《MEMS先進(jìn)代工與全球化布局》,他分享到,賽微電子以“智能傳感”為核心,加速推進(jìn)晶圓級封測能力,致力成為立足中國、服務(wù)全球的半導(dǎo)體制造標(biāo)桿企業(yè)。賽微電子的產(chǎn)品應(yīng)用于激光雷達(dá)、智能手機(jī)、生物醫(yī)療等,客戶涵蓋全球科技巨頭及創(chuàng)新企業(yè),支持多家客戶成功IPO。他特別指出,汽車電子和醫(yī)療電子是未來重點布局領(lǐng)域。
產(chǎn)業(yè)報告
創(chuàng)新驅(qū)動產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展
在產(chǎn)業(yè)論壇環(huán)節(jié),深圳穩(wěn)頂聚芯技術(shù)有限公司創(chuàng)始人&總裁祁春超詳細(xì)解讀了《光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)化規(guī)劃與進(jìn)展》。他闡述了全球光刻機(jī)發(fā)展動態(tài)和國內(nèi)現(xiàn)狀,以及半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)供需分析。他分享到,穩(wěn)頂聚芯自主研發(fā)的光刻機(jī)分辨率達(dá)到100nm,已實現(xiàn)小批量生產(chǎn),將重點服務(wù)MEMS傳感器制造。
武漢敏聲新技術(shù)有限公司董事長孫成亮教授分享了《BAW濾波器產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展》,他介紹了BAW濾波器的優(yōu)勢和必要性,并表示,海外IDM廠商壟斷市場,濾波器國產(chǎn)化率極低,突破的關(guān)鍵在于“專利+產(chǎn)品性能+IDM能力”。他介紹,敏聲8英寸聯(lián)合產(chǎn)線(北京)已量產(chǎn),產(chǎn)能達(dá)到2000片/月,武漢規(guī)劃1萬片/月生產(chǎn)線,為后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)充打下基礎(chǔ)。
蘇州明皜傳感科技股份有限公司副總經(jīng)理郭致良在《車規(guī)傳感器,中國下一個增長機(jī)遇》報告中介紹了MEMS的發(fā)展以及傳感器的市場,他指出,新能源汽車產(chǎn)業(yè)正在拉動更多的 MEMS 傳感器,預(yù)估車用MEMS傳感器市場規(guī)模在2025年將超過120億元人民幣。
安徽華鑫微納業(yè)務(wù)發(fā)展部負(fù)責(zé)人劉垚闡述了《強(qiáng)鏈核,建生態(tài),助力智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展》的實踐,他分享了高研發(fā)投入、IP保護(hù)難、高門檻與市場規(guī)模、低門檻與低毛利、融資難等智能傳感器行業(yè)現(xiàn)狀與痛點,分析了美國、日本等國家在MEMS產(chǎn)業(yè)的做法,并表示智能傳感器的鏈核是制造平臺,研產(chǎn)高度協(xié)同的柔性化MEMS制造平臺是必由之路。
技術(shù)論壇
突破邊界永無止境
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司產(chǎn)品總監(jiān)張軼銘博士介紹了《北方華創(chuàng)面向MEMS與傳感器的裝備和工藝整體解決方案》,重點展示了深硅刻蝕設(shè)備和清洗解決方案,表示北方華創(chuàng)將持續(xù)裝備創(chuàng)新,全面布局MEMS傳感器領(lǐng)域。
武創(chuàng)芯研科技(武漢)有限公司總經(jīng)理張適博士在《數(shù)字孿生在壓力傳感器產(chǎn)線應(yīng)用》報告中強(qiáng)調(diào),汽車MEMS壓力傳感器在變速箱、安全輔助、高級輔助駕駛等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用,但其制造過程面臨高精度、高效率、柔性化生產(chǎn)的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)制造模式難以滿足多品種、多批量、高良率的需求,亟需通過智能制造技術(shù)實現(xiàn)突破,而數(shù)字孿生技術(shù)可以通過虛實映射和實時優(yōu)化,為產(chǎn)線升級提供全新解決方案。
武漢飛恩微電子有限公司副總經(jīng)理曹萬分享了《壓力傳感器芯片在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用》,他詳細(xì)介紹了MEMS壓力傳感器原理,并表示,飛恩微電子的產(chǎn)品具備高精度、低功耗、小型化等特性,覆蓋所有汽車壓力傳感器應(yīng)用。
華中科技大學(xué)王卿副教授深入講解了《MEMS傳感器激光局部焊接氣密封裝技術(shù)》,特別介紹了團(tuán)隊在MEMS傳感器陶瓷氣密封裝、三維陶瓷基板制備技術(shù)和激光局部焊接技術(shù)方面的創(chuàng)新成果。
湖北大學(xué)韓偉副教授介紹了《日盲紫外光電傳感器技術(shù)及其應(yīng)用》,展示了湖北大學(xué)在氧化鎵光電傳感器、二維材料光電傳感器方面的創(chuàng)新成果。
智能傳感與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供需對接會
為充分發(fā)揮好服務(wù)會員的橋梁紐帶作用,高端芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展聯(lián)盟打造“面對面”產(chǎn)需對接平臺,強(qiáng)化“政產(chǎn)學(xué)研金服用”聯(lián)動,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游無縫對接,助推企業(yè)降本增效,幫助會員找技術(shù)、找市場、找資金、找應(yīng)用。此次“面對面”產(chǎn)需對接平臺在大會現(xiàn)場設(shè)置專區(qū),舉辦“智能傳感與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供需對接會”。明皜傳感、華鑫微納、七一七所、手智創(chuàng)新(天問機(jī)器人)、武漢敏聲、北方華創(chuàng)、武漢飛恩、賽微電子、格藍(lán)若、穩(wěn)頂聚芯等企業(yè)現(xiàn)場發(fā)布需求,與會代表圍繞場景建設(shè)、技術(shù)創(chuàng)新、市場拓展與合作模式等展開熱烈交流。