2025年,是先進制程代工廠交付2nm及以下工藝的時間點。2025年,2nm是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一大看點。隨著時間的推進,2nm工藝“先行者們”的進展如何?
臺積電近期表示,2nm工藝技術(shù)進展良好,將如期在今年下半年量產(chǎn),產(chǎn)能在今年年底前有望達到5萬片,甚至有機會邁上8萬片臺階。
三星表示,其新一代自研移動處理器Exynos 2600將采用自家的2nm工藝(SF2)代工,目前試產(chǎn)初始良率達到了預(yù)計的30%,正投入大量資源,以確保其按時量產(chǎn)。
英特爾在官網(wǎng)上公開了其最尖端的Intel 18A制程工藝的介紹,并稱其已經(jīng)“準備就緒”。
日本晶圓代工初創(chuàng)企業(yè)Rapidus表示,其2nm晶圓廠建廠進度順利,將在4月1日開始試產(chǎn)2nm,2027年開始量產(chǎn)。
臺積電:進度超前,降本仍是首要難題
作為產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)頭羊,臺積電在2nm芯片的研發(fā)和量產(chǎn)進度上一直處于行業(yè)領(lǐng)先地位,目前良率已經(jīng)達到60%。
早在2024年第一季度,臺積電就在新竹寶山晶圓廠(Fab 20)成功設(shè)立了2nm制程技術(shù)的試產(chǎn)線,這一舉措標志著臺積電在2nm技術(shù)領(lǐng)域已經(jīng)取得了顯著進展。根據(jù)臺積電的規(guī)劃,2025年下半年將是一個重要的時間節(jié)點,屆時2nm芯片將正式進入批量生產(chǎn)階段。到2025年年底,若計入高雄晶圓廠(Fab 22)的產(chǎn)能,其2nm工藝的月產(chǎn)能預(yù)計將突破5萬片。而在2026年年底,這一數(shù)字有望進一步攀升至每月12至13萬片。
同時,臺積電為了滿足2nm的量產(chǎn)需求,加大了對ASML的EUV光刻機的采購力度,在2024年就訂購了30臺,并且計劃在2025年再訂購35臺,其中還包括ASML最新推出的High-NA EUV光刻機。如此大規(guī)模的產(chǎn)能規(guī)劃,為其在全球半導(dǎo)體市場的競爭中奠定了基礎(chǔ)。
在技術(shù)方面,臺積電在晶體管架構(gòu)上,摒棄了沿用已久的鰭式場效應(yīng)晶體管(FinFET),轉(zhuǎn)而采用全環(huán)繞柵極場效應(yīng)晶體管(GAAFET)技術(shù)。專家表示,這種全新架構(gòu)由一疊狹窄的硅帶組成,每個硅帶都被一個柵極全方位包圍。相比FinFET,GAAFET對電流的控制更為精細,極大地降低了量子隧道效應(yīng),使得芯片在相同功耗下能夠?qū)崿F(xiàn)更高的性能,或者在相同性能下大幅降低功耗。舉例來說,在移動設(shè)備中,采用GAAFET架構(gòu)的2nm芯片能讓手機在長時間運行高負載游戲時,發(fā)熱更少、電量消耗更慢,同時游戲畫面的流暢度和響應(yīng)速度都能得到顯著提升。
臺積電位于晶圓二十廠的2nm工藝主要生產(chǎn)基地
此外,臺積電還在2nm工藝中引入了多種新技術(shù),例如NanoFlex DTCO(設(shè)計技術(shù)聯(lián)合優(yōu)化)技術(shù)的使用讓開發(fā)者可以根據(jù)不同的應(yīng)用需求,靈活選擇更高效的單元高度。若用于對能效要求極高的物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備芯片,可開發(fā)面積最小化、能效增強的更矮單元,讓設(shè)備在極小的電量下也能長時間穩(wěn)定運行;采用的第三代偶極子集成技術(shù),支持六個電壓閾值檔(6-Vt),范圍達到200mV。這使得N型、P型納米片晶體管的I/CV速度分別提升了70%、110%,優(yōu)化了芯片的性能表現(xiàn);利用全新的中間層(MoL)、后端層(BEOL)和遠后端層(Far-BEOL)導(dǎo)線,讓電阻降低20%,能效更高。并且,第一層金屬層(M1)現(xiàn)在只需一步蝕刻(1P1E)、一次EVU曝光即可完成,降低了復(fù)雜度和光罩數(shù)量,不僅提高了生產(chǎn)效率,還降低了生產(chǎn)成本。此外,針對高性能計算應(yīng)用,臺積電還引入了超高性能的SHP-MiM電容,容量大約每平方毫米200fF,可以獲得更高的運行頻率,滿足了大數(shù)據(jù)處理、人工智能訓(xùn)練等對計算速度要求極高的應(yīng)用場景需求。
這些技術(shù)的綜合使用,讓臺積電的2nm工藝技術(shù)在性能提升和功耗降低方面展現(xiàn)出顯著的優(yōu)勢。臺積電表示,在性能提升上,相較于當前廣泛應(yīng)用的3nm制程,2nm制程在相同運行電壓下,性能可提高15%,在同等性能下,功耗可降低24%~35%。
盡管臺積電的2nm芯片在技術(shù)上優(yōu)勢明顯,但在市場推廣方面卻面臨著成本高昂的難題。據(jù)了解,2nm芯片的制造成本極高,每片硅晶圓的報價高達3萬美元,即使蘋果這樣的臺積電的忠實大客戶,也會對2nm芯片的報價有所顧慮。蘋果原計劃在iPhone 17系列中應(yīng)用臺積電的2nm芯片,但最終因成本原因,計劃推遲至2026年的iPhone18系列上使用。
對于其他客戶來說,這個影響只會被無限放大,因此,如何在保證技術(shù)優(yōu)勢的同時,降低成本,提高市場接受度,是臺積電未來需要解決的關(guān)鍵問題。
三星:穩(wěn)步推進,良率依舊面臨挑戰(zhàn)
三星作為先進工藝的重要推動者,一直在積極研發(fā)2nm工藝。在2024年三星晶圓代工論壇年度博覽會上,三星公布了最新的半導(dǎo)體芯片工藝路線圖,宣布將在2025年量產(chǎn)2nm芯片,并計劃在2027年量產(chǎn)1.4nm芯片。
據(jù)了解,三星的2nm工藝布局了多個節(jié)點,其中第一代2nm工藝為SF2,后續(xù)又規(guī)劃了SF2P、SF2X、SF2A和SF2Z等多個節(jié)點。目前,SF2的試產(chǎn)初始良率已經(jīng)達到了預(yù)計的30%,三星正投入大量資源,以確保其按時量產(chǎn)。
技術(shù)方面,三星的2nm工藝繼續(xù)沿用了全環(huán)繞柵極(GAA)設(shè)計,三星表示,傳統(tǒng)的FinFET(鰭式場效應(yīng)晶體管)技術(shù)逐漸暴露出局限性,如短溝道效應(yīng)加劇,導(dǎo)致漏電現(xiàn)象增加,進而影響芯片的性能和能效。而在GAA技術(shù)中,柵極能夠從四個方向包圍溝道,相較于傳統(tǒng)FinFET技術(shù)的三柵極結(jié)構(gòu),這種全環(huán)繞的設(shè)計極大地增強了對電流的控制能力。當晶體管尺寸縮小時,GAA技術(shù)可以有效減少漏電現(xiàn)象,確保芯片在低功耗下穩(wěn)定運行。
除了GAA技術(shù),三星在2nm芯片中還采用了BSPDN(背面供電)技術(shù),這一技術(shù)的應(yīng)用同樣為芯片性能的提升帶來了諸多好處。專家表示,在傳統(tǒng)的芯片設(shè)計中,供電網(wǎng)絡(luò)位于芯片正面,隨著晶體管數(shù)量的不斷增加和尺寸的縮小,正面的布線空間變得愈發(fā)擁擠,布線堵塞問題日益嚴重,這不僅增加了電阻,導(dǎo)致功率損耗增加,還限制了芯片性能的進一步提升。
三星的BSPDN技術(shù)則將供電網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)移到芯片背面,有效解決了布線堵塞問題。該技術(shù)的原理是在芯片制造過程中,通過特殊的工藝在芯片背面構(gòu)建供電網(wǎng)絡(luò),并利用硅通孔(TSV)技術(shù)實現(xiàn)正面晶體管與背面供電網(wǎng)絡(luò)的連接。這樣一來,芯片正面就有了更多的空間用于信號布線,降低了信號傳輸?shù)母蓴_,提高了信號傳輸?shù)男?,還能顯著提升芯片的性能和能效。
三星認為,公司的2nm工藝與前代工藝相比,其計算性能得到了顯著提升。以三星自家的Exynos系列芯片為例,采用2nm工藝的Exynos芯片在運行復(fù)雜的AI算法和大數(shù)據(jù)處理任務(wù)時,運算速度相比上一代采用3nm工藝的芯片提高了12%;在運行速度方面,在智能手機中,搭載2nm芯片的手機在打開各類應(yīng)用程序時,速度明顯加快,應(yīng)用的啟動時間平均縮短了30%左右。
此外,三星官方數(shù)據(jù)顯示,采用2nm工藝后,晶圓的利用率提高了約20%,有效降低了芯片的制造成本,使得三星在市場競爭中更具價格優(yōu)勢。
盡管三星2nm芯片在技術(shù)層面取得了顯著突破,但三星始終面臨著良率不足50%的困境,甚至有報道稱,三星目前試產(chǎn)的2nm芯片良率僅在10%~20%之間。而且,良率問題不僅影響了三星2nm芯片的生產(chǎn)效率,還增加了生產(chǎn)成本。由于大量芯片在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)缺陷,無法達到合格標準,導(dǎo)致資源浪費和成本上升。
為了提高良率,三星采取了一系列措施。三星董事長李在镕親自拜訪了ASML和蔡司等主要設(shè)備供應(yīng)商,尋求工藝和良率改進的解決方案。然而,目前這些努力尚未取得顯著成果,良率提升仍面臨諸多困難。
英特爾:性能擔(dān)當,不顧處境堅持博弈
英特爾最近經(jīng)歷了諸多難事,其代工業(yè)務(wù)的技術(shù)停滯更是被人詬病已久,“牙膏廠”的名號在外甚是響亮。甚至近期有消息稱,臺積電已向英偉達、AMD和博通提出,考慮入股一家合資企業(yè),來負責(zé)運營英特爾的代工廠。
但英特爾這個老將并沒有束手就擒,英特爾前任CEO基辛格曾十分硬氣地表示,英特爾的18A工藝技術(shù)是業(yè)界最領(lǐng)先的,優(yōu)于臺積電的N2工藝技術(shù),并且最快于2025年上半年就能實現(xiàn)量產(chǎn)。
英特爾官網(wǎng)的資料顯示,與Intel 3工藝節(jié)點相比,其18A工藝的每瓦性能提高15%,芯片密度提高30%。提升的主要原因在于英特爾18A工藝技術(shù)擁有兩大核心技術(shù),分別是RibbonFET晶體管技術(shù)和PowerVia電源傳輸技術(shù)。
RibbonFET晶體管技術(shù)是英特爾對Gate All Around(GAA)晶體管技術(shù)進行的一次創(chuàng)新,這也是自2011年英特爾率先推出FinFET技術(shù)以來,在晶體管架構(gòu)領(lǐng)域的又一次重大變革。據(jù)了解,RibbonFET晶體管實現(xiàn)了柵極對晶體管溝道的全面環(huán)繞。這種全環(huán)繞柵極的結(jié)構(gòu)帶來了諸多優(yōu)勢。
從空間利用效率來看,RibbonFET晶體管溝道采用垂直堆疊的方式,相較于傳統(tǒng)FinFET晶體管的水平堆疊,減少了晶體管在芯片上所占據(jù)的空間。這使得在相同面積的芯片上,可以集成更多數(shù)量的晶體管,進一步提高了芯片的晶體管密度,為芯片性能的提升提供了硬件基礎(chǔ)。
在性能提升方面,柵極對溝道的全面環(huán)繞增強了對電流的控制能力。無論是在高電壓還是低電壓環(huán)境下,RibbonFET晶體管都能夠提供更強的驅(qū)動電流,使得晶體管的開關(guān)速度得到提升。這意味著芯片在處理各種數(shù)據(jù)和指令時,能夠更加迅速地響應(yīng),從而提高了整個芯片系統(tǒng)的運行速度和效率。在運行復(fù)雜的人工智能算法時,RibbonFET晶體管技術(shù)能夠使芯片更快地完成矩陣運算等關(guān)鍵操作,縮短了模型訓(xùn)練和推理的時間。
而PowerVia電源傳輸技術(shù)是業(yè)界首個背面電能傳輸網(wǎng)絡(luò),與三星的BSPDN(背面供電)技術(shù)異曲同工,通過將電源傳輸網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)移到芯片的背面,成功地解決了在傳統(tǒng)的芯片制造工藝中,隨著芯片晶體管密度的不斷增加,電源線和信號線在正面的布線變得越來越擁擠的難題。
據(jù)專家介紹,在PowerVia技術(shù)的實現(xiàn)過程中,首先按照傳統(tǒng)工藝制造晶體管和互連層,然后將晶圓進行翻轉(zhuǎn)并打磨,露出連接電源線的底層。接著,在芯片的背面構(gòu)建用于供電的金屬層。這樣一來,電源線和信號線被分離開來,芯片正面可以專注于信號傳輸,而背面則負責(zé)電源傳輸。這種全新的供電方式帶來了多方面的優(yōu)勢。由于供電路徑更加直接,減少了電源在傳輸過程中的電阻和電感,從而降低了電壓。
英特爾的測試結(jié)果顯示,PowerVia技術(shù)能夠?qū)⑵脚_電壓下降優(yōu)化30%以上,而使用PowerVia設(shè)計的英特爾能效核實現(xiàn)了6%的頻率增益和超過90%的標準單元利用率,可以讓芯片在運行時獲得更加穩(wěn)定和高效的電源供應(yīng),有助于提高芯片的性能和穩(wěn)定性,減少了電源線和信號線之間的干擾,提高了信號傳輸?shù)馁|(zhì)量。
研究機構(gòu)TechInsights測算得出,英特爾18A工藝的性能值為2.53,臺積電N2工藝的性能值為2.27,三星SF2工藝的性能值為2.19,這讓業(yè)內(nèi)對英特爾18A工藝技術(shù)的期待值拉滿。英特爾如今已經(jīng)在低谷中掙扎,能不能破釜沉舟拿下這一局,至關(guān)重要。
Rapidus:潛力新人,能否一飛沖天
日本很早就退出了提高半導(dǎo)體集成度的微型化競爭,目前日本工廠最多只能生產(chǎn)40nm的通用半導(dǎo)體產(chǎn)品。但近兩年,隨著人工智能等領(lǐng)域的爆火,日本政府也開始嘗試進入先進工藝領(lǐng)域來分一杯羹。
2022年8月,日本政府集結(jié)了豐田、索尼、日本電氣、鎧俠、三菱日聯(lián)銀行等8家日本本土大企業(yè),共同籌辦了Rapidus公司,目標也十分宏偉,計劃在2027年量產(chǎn)2nm芯片,實現(xiàn)從40nm到2nm的飛躍。這可是臺積電、三星等行業(yè)巨頭憑借多年的技術(shù)積累和巨額的研發(fā)投入,用了超過10年的時間才實現(xiàn)的技術(shù)突破。因此,這一目標也被日本視為未來重新成為“芯片強國”的關(guān)鍵。
對于Rapidus來說,日本政府已經(jīng)給予了非常多的支持,計劃在2025年下半年,向Rapidus公司出資1000億日元用作追加購買2027年開始量產(chǎn)所需的EUV光刻機等的資金。并且在2025年2月7日,日本政府通過內(nèi)閣會議決定修訂《信息處理促進法》和《特別會計法》,以支持Rapidus等半導(dǎo)體企業(yè)加快下一代半導(dǎo)體的量產(chǎn)。但要從建廠開始,想在短短幾年內(nèi)完成2nm的量產(chǎn),難度可想而知。
技術(shù)開發(fā)方面,Rapidus選擇與早在2021年就成功推出了全球首款采用2nm工藝芯片的IBM合作,目前已經(jīng)在GAA技術(shù)的應(yīng)用上取得了突破。通過引入兩種不同的選擇性減少層(SLR)工藝,保證了芯片在低電壓環(huán)境下的高性能。這一工藝改進不僅簡化了生產(chǎn)流程,還提升了良率,為大規(guī)模生產(chǎn)打下了基礎(chǔ)。
除了IBM,Rapidus還與比利時微電子研究中心(IMEC)達成了技術(shù)合作,進一步拓寬了技術(shù)研發(fā)的視野和資源渠道。通過派遣員工參與IMEC的研究項目,讓Rapidus能夠及時了解和掌握半導(dǎo)體領(lǐng)域的最新研究成果和技術(shù)趨勢,為自身的2nm技術(shù)研發(fā)提供更多的思路和方法。
此外,在2024年12月,Rapidus從ASML獲得第一臺EUV機器。Rapidus社長小池淳義近日在演講會上宣布,公司首座晶圓廠IIM-1的建設(shè)進展順利,已經(jīng)安裝了超過200臺設(shè)備,Rapidus計劃在2025年4月1日啟動2nm GAA制程試產(chǎn)。有報道稱,Rapidus將與博通合作,計劃在2025年6月向博通提供試產(chǎn)芯片。除了博通,Preferred Networks也委托Rapidus代工2nm芯片,用于生成式AI處理。
可以看出,當下Rapidus的勢頭很猛,潛力很大,但IBM的2nm芯片技術(shù)目前還只是實驗室產(chǎn)物,轉(zhuǎn)化為批量生產(chǎn)的芯片工藝仍存在諸多技術(shù)難題,而且Rapidus作為“新人”,底蘊不足,能否試生產(chǎn)成功,馬上4月就能見分曉了。
為何業(yè)界要擁抱2nm?
在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展歷程中,工藝的進步始終是推動行業(yè)前進的核心動力。近年來,人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)等領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展,對芯片的要求愈發(fā)嚴苛,行業(yè)越來越期盼更高性能、更快運算速度、更低能耗的芯片,但芯片存在物理極限,只有不斷精進工藝才能打破桎梏。
2nm工藝相比現(xiàn)有的3nm工藝,在晶體管密度、性能和功耗方面都有著顯著的優(yōu)勢,2nm工藝可以使芯片的晶體管密度提高約45%,性能提升約15%,意味著芯片可以在更小的面積內(nèi)實現(xiàn)更多的功能,進而提升芯片的運算能力。在智能手機中,更高的晶體管密度可以讓芯片更快地處理各種數(shù)據(jù),無論是運行多個應(yīng)用程序,還是進行復(fù)雜的圖形處理,都能更加流暢。在人工智能領(lǐng)域,大量的晶體管可以支持更復(fù)雜的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)運算,加速模型的訓(xùn)練和推理過程,這對于推動人工智能、高性能計算、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域的發(fā)展具有重要意義。
在功耗方面,2nm芯片同樣表現(xiàn)突出,比3nm工藝的功耗降低約30%。高功耗不僅會導(dǎo)致設(shè)備的續(xù)航能力下降,還會產(chǎn)生大量的熱量,影響設(shè)備的穩(wěn)定性和使用壽命。2nm芯片的低功耗特性,可以延長智能手機的電池續(xù)航時間。對于數(shù)據(jù)中心這樣的大規(guī)模計算場景,大量服務(wù)器產(chǎn)生的能耗是一個巨大的成本,采用2nm芯片的服務(wù)器,可以在降低能耗的同時,提高計算效率,節(jié)省能源成本。
更小的工藝使得芯片的體積可以進一步縮小,這對于那些對空間要求極高的設(shè)備,如可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)傳感器等來說至關(guān)重要。更小的芯片面積不僅可以讓設(shè)備的設(shè)計更加緊湊,實現(xiàn)更加小型化、輕量化的設(shè)計,還可以降低生產(chǎn)成本。在生產(chǎn)過程中,同樣大小的晶圓可以切割出更多的芯片,從而提高生產(chǎn)效率,降低單個芯片的成本。
正是由于2nm芯片具備如此卓越的性能優(yōu)勢,全球各大芯片制造商都紛紛投身于這場激烈的技術(shù)競賽中。盡管各大企業(yè)2nm量產(chǎn)目前面臨著諸多挑戰(zhàn),但勢必都會在今年交出答卷,推動半導(dǎo)體行業(yè)進入一個新的發(fā)展階段,也讓整個產(chǎn)業(yè)進入革新期。