3月12日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司宣布，截至2025年2月底，其等離子體刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)全球累計(jì)出貨量突破5000臺(tái)，其中CCP設(shè)備裝機(jī)量超4000臺(tái)，近四年年均增長37%，ICP設(shè)備裝機(jī)量超1000臺(tái)，同期年均增速達(dá)100%。目前設(shè)備已進(jìn)入全球130余條芯片生產(chǎn)線，覆蓋5納米及更先進(jìn)制程。

資料顯示，2024年度中微公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入90.65億元，同比增幅達(dá)44.73%，連續(xù)13年保持35%以上年均增速。核心業(yè)務(wù)刻蝕設(shè)備收入72.77億元，同比增長54.73%，近四年年均增長率超50%。研發(fā)投入持續(xù)加碼，年內(nèi)推進(jìn)6類設(shè)備、超20款新機(jī)型的開發(fā)，LPCVD設(shè)備獲4.76億元批量訂單，新產(chǎn)品研發(fā)周期縮短至兩年以內(nèi)。

業(yè)績增長的同時(shí)，企業(yè)運(yùn)營效率同步提升，2024年人均銷售額突破400萬元，較2022年提升14%。中微公司同步推進(jìn)薄膜沉積、量測設(shè)備等新業(yè)務(wù)布局，MOCVD設(shè)備在全球氮化鎵基LED市場保持領(lǐng)先地位。根據(jù)發(fā)展規(guī)劃，中微將持續(xù)聚焦先進(jìn)制程設(shè)備研發(fā)，深化三維立體發(fā)展戰(zhàn)略。

（校對/黃仁貴）