天眼查顯示,拉普拉斯新能源科技股份有限公司“片材載具上下料裝置和方法、反應(yīng)爐系統(tǒng)”專利公布,申請公布日為2024年10月11日,申請公布號為CN118763034A。
本公開涉及半導(dǎo)體或光伏技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種片材載具上下料裝置和方法、反應(yīng)爐系統(tǒng),解決了由于懸臂槳結(jié)構(gòu)的槳變形,導(dǎo)致片材載具進出反應(yīng)爐時相對于反應(yīng)爐的位置的調(diào)節(jié)難度大的問題。片材載具上下料裝置包括:承載板、爐外軌道和推舟組件,承載板水平放置于地面或者機架,爐外軌道和推舟組件均設(shè)置于承載板上,爐外軌道用于承載片材載具,能夠與反應(yīng)爐的爐內(nèi)軌道對接。在爐外軌道與爐內(nèi)軌道對接時,推舟組件對片材載具施加推力或拉力,以使片材載具被推入或拉出反應(yīng)爐。該片材載具上下料裝置取代了懸臂槳結(jié)構(gòu)承載片材載具,不存在變形的問題,降低了片材載具進出反應(yīng)爐時相對于反應(yīng)爐的位置的調(diào)節(jié)難度。