天眼查顯示，江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司“一種低成本高純度合成石英砂的制備方法”專(zhuān)利公布，申請(qǐng)公布日為2024年9月24日，申請(qǐng)公布號(hào)為CN118684232A。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體級(jí)的石英坩堝、石英砂或石英玻璃技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低成本高純度合成石英砂的制備方法。本發(fā)明針對(duì)高純合成石英砂正硅酸酯類(lèi)等化合物原材料價(jià)格昂貴的主要挑戰(zhàn)，使用廉價(jià)堿金屬硅酸鹽作為替代原材料大幅度降低高純合成石英的成本。此外，對(duì)于設(shè)備簡(jiǎn)單可控的常溫常壓工藝，可以應(yīng)用于大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)中。主要包括以下步驟：首先，將堿金屬硅酸鹽用高純水稀釋?zhuān)S后加入除雜劑除去雜質(zhì)元素并通過(guò)離子交換去除鈉離子；其次，將溶膠靜置并老化獲得濕凝膠；最后通過(guò)常溫常壓干燥、破碎以及高溫焙燒獲得高純合成石英砂。
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