天眼查消息顯示,深圳天狼芯半導體有限公司“一種垂直型鰭狀功率器件及其制備方法、芯片”專利公布,申請公布日為5月30日,申請公布號為CN116190236A。
圖源:天眼查
專利摘要顯示,本申請屬于半導體技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種垂直型鰭狀功率器件及其制備方法、芯片,通過在半導體襯底的正面依次外延生長N型漂移層以及P型開關(guān)隔離層,然后對P型開關(guān)隔離層的指定區(qū)域進行N型摻雜形成電壓信道層,以將P型開關(guān)隔離層劃分為第一開關(guān)隔離區(qū)和第二開關(guān)隔離區(qū),在電壓信道層上形成N型連接區(qū),并在N型連接區(qū)兩側(cè)形成第一源極摻雜層、第二源極摻雜層以及多個交替設(shè)置的P型摻雜結(jié)構(gòu)和N型溝道結(jié)構(gòu),在P型摻雜結(jié)構(gòu)上形成柵極金屬層,通過柵極金屬層以及鰭狀結(jié)構(gòu)的P型摻雜結(jié)構(gòu)感應(yīng)得到多條電流通道達到源極,由P型摻雜結(jié)構(gòu)上的柵極金屬層感應(yīng)出電流通道即可開啟器件,從而可以同時兼顧低成本與器件效能。(校對/姜羽桐)