5月16日，上海化工區(qū)與上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）簽署投資意向協(xié)議。至純科技擬在上海電子化學(xué)品專區(qū)投資建設(shè)半導(dǎo)體電子化學(xué)品、電子特氣研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

圖源：上?；^(qū)

至純科技成立于2000年，致力于為集成電路及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)客戶提供制程設(shè)備、高純工藝系統(tǒng)和相關(guān)電子材料及專業(yè)服務(wù)，是國內(nèi)一線FAB廠的主要供應(yīng)商。

自2020年底，上?；^(qū)按照國家及市委、市政府對于集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略部署與整體要求，正式啟動“上海電子化學(xué)品專區(qū)”建設(shè)，圍繞光刻膠及配套材料、電子特氣、濕電子化學(xué)品及CMP拋光材料等集成電路相關(guān)產(chǎn)品，全力打造電子化學(xué)品研發(fā)試驗(yàn)基地、生產(chǎn)基地以及物流存儲基地。（校對/姜羽桐）