近日，上揚軟件升級發(fā)布設備故障偵測和分類Terra FDC 2.0，升級后的2.0版本能夠更有效地提高機臺設備的利用率，從而降低生產成本、提高工廠效率。

半導體加工設備投資成本巨大，晶圓廠建廠超過75%的成本用于設備采購，因此，設備效率最大化是半導體廠降本提效的主要方式之一。因此，以故障監(jiān)測、分類和預測為主要功能的FDC正是提高設備利用率的利器。

FDC高頻次采集機臺生產工藝中的關鍵數(shù)據(jù)，利用算法和經驗模型，包括統(tǒng)計學算法、工藝模型的算法和人工智能算法，預配置參數(shù)的限制值，持續(xù)監(jiān)控設備參數(shù)，以對設備健康狀態(tài)提供主動而快速的反饋，如偵測到設備故障，則采取相關警報和控制功能。

FDC通過對機臺運行（生產，待機）實時監(jiān)控，包括整體機和子腔體，從而實現(xiàn)以下功能：一是避免設備故障造成的產品不良，提升產品良率；二是減少設備意外停機時間，提高產品周轉率。三是減少測試晶片運用，達到降低成本的目的。

作為半導體智能制造軟件CIM的重要子系統(tǒng)之一，F(xiàn)DC也是長期被國外廠商壟斷。國產FDC市場勢孤力薄，產品小眾化，在主流的8英寸和12英寸晶圓廠上沒有進行過驗證，主要是集中在中小的半導體廠，市場占有率很低，很難形成規(guī)模。另外，從技術來說，驗證算法和算法都相對比較單一，只能做到設備的單邊量分析，多變量分析還是比較薄弱；三是由于技術上的差距，服務也是與國際一流的FDC有一定的差別，所以在服務上，對于客戶上的幫助還是很有限，很難從工藝或設備的角度，以及從系統(tǒng)和算法的角度上來說，幫助客戶提升工藝水平。

上揚軟件升級后的Terra FDC采用「分層診斷」，透過一層層的故障偵測法則，如同天羅地網般偵測機臺設備可能發(fā)生的故障診斷與分類。其核心優(yōu)勢有三點：一是對設備數(shù)據(jù)進行高頻次采集，至少支持100毫秒的頻率，約為10HZ；二是基于深度學習進行邊緣AI計算，提高高頻數(shù)據(jù)采樣的效率，甚至達到100HZ。三是多變量分析：利用大數(shù)據(jù)技術，支持多元數(shù)據(jù)分析。

此次，上揚軟件發(fā)布的Terra FDC 2.0將推動國產FDC的發(fā)展，助力構建國產市場的新格局。