住友電氣工業(yè)用GaN結(jié)晶的“半極性面”及“非極性面”，開(kāi)發(fā)了口徑2英寸的GaN基板。據(jù)稱(chēng)已確立了量產(chǎn)技術(shù)。采用非極性面的GaN基板預(yù)定2010年內(nèi)樣品供貨。其特點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了與藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器所用GaN基板產(chǎn)品相同水平的口徑及位錯(cuò)密度。
白色LED利用的藍(lán)色LED芯片以及藍(lán)光光盤(pán)裝置光源利用的藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器等GaN類(lèi)半導(dǎo)體發(fā)光元件，通常要利用GaN結(jié)晶稱(chēng)為“極性面”的面。因采用GaN結(jié)晶的半極性面及非極性面，可削弱GaN結(jié)晶上產(chǎn)生的“壓電電場(chǎng)”的影響，所以有助于提高發(fā)光元件的發(fā)光效率。
另外，通過(guò)削弱壓電電場(chǎng)的影響，可使發(fā)光波長(zhǎng)比較容易長(zhǎng)波長(zhǎng)化。因此，在使用GaN類(lèi)半導(dǎo)體的情況下，可直接振蕩綠色激光。實(shí)際上，住友電氣工業(yè)已經(jīng)試制出了采用半極性面的GaN類(lèi)半導(dǎo)體激光器。
此前盡管已經(jīng)有很多研究機(jī)構(gòu)利用半極性面及非極性面試制出了GaN基板，但尺寸都很小。此次，住友電氣工業(yè)通過(guò)采用自主開(kāi)發(fā)的HVPE法，實(shí)現(xiàn)了2英寸的直徑。據(jù)稱(chēng)，由于可利用現(xiàn)有的制造設(shè)備，因此無(wú)需大規(guī)模的設(shè)備投資等。
2英寸直徑與制造藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光器時(shí)利用的極性面GaN基板（以下：c面基板）的水平相當(dāng)。開(kāi)發(fā)品的位錯(cuò)密度也很小，在105cm-2量級(jí)。該值也與c面基板的量產(chǎn)產(chǎn)品相當(dāng)。
此外，關(guān)于c面基板，住友電氣工業(yè)還成功開(kāi)發(fā)出了口徑大至6英寸的產(chǎn)品。設(shè)想主要用于白色LED用LED芯片的制造。（記者：根津 禎）
住友電工將樣品供貨半極性面及非極性面的2英寸GaN基板
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