近日，半導(dǎo)體材料企業(yè)中科卓爾完成合計(jì)數(shù)億元B輪融資，領(lǐng)投方為中銀國(guó)際投資旗下成都交子中贏創(chuàng)新發(fā)展基金。同時(shí)，多家跟投機(jī)構(gòu)亦在快速推進(jìn)中。融資資金將用于半導(dǎo)體光刻用石英掩模基板的工藝研發(fā)、國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)線建設(shè)及突破量產(chǎn)瓶頸。

資料顯示，中科卓爾成立于2018年，由中科院光電所楊偉博導(dǎo)領(lǐng)銜組建，是一家精密光電及半導(dǎo)體智能裝備研發(fā)商，專注于精密光學(xué)、半導(dǎo)體材料及智能裝備等研發(fā)生產(chǎn)。公司突破了半導(dǎo)體掩模版基板精密拋光與鍍膜關(guān)鍵技術(shù)，具備從工藝到核心設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)能力，并承擔(dān)國(guó)家半導(dǎo)體空白掩模版產(chǎn)業(yè)鏈攻關(guān)項(xiàng)目，其主要產(chǎn)品覆蓋130~250nm制程半導(dǎo)體/顯示用空白掩模版（28~90nm產(chǎn)品正在積極儲(chǔ)備研發(fā)）及相關(guān)核心設(shè)備。

空白掩模版作為光刻工藝中的圖形轉(zhuǎn)移載體，是芯片與顯示屏用光刻機(jī)的核心材料，直接影響光刻精度及產(chǎn)品良率。目前，中國(guó)大陸能夠小批量穩(wěn)定供應(yīng)第三方石英空白掩模版的企業(yè)僅4~5家，且關(guān)鍵制程設(shè)備仍依賴進(jìn)口。中科卓爾致力于解決我國(guó)空白掩膜版“卡脖子”難題。

據(jù)介紹，技術(shù)層面，中科卓爾已實(shí)現(xiàn)三項(xiàng)自主突破，其中，超精密拋光工藝達(dá)到表面粗糙度優(yōu)于0.2納米（國(guó)際主流水平0.3納米）；磁控濺射鍍膜設(shè)備實(shí)現(xiàn)膜層均勻性±2%（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)±5%）；缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可識(shí)別0.3微米級(jí)瑕疵并關(guān)聯(lián)生產(chǎn)數(shù)據(jù)。中科卓爾表示，目前國(guó)產(chǎn)空白掩模版在130~500nm制程已實(shí)現(xiàn)技術(shù)對(duì)標(biāo)，但在100nm以內(nèi)更先進(jìn)節(jié)點(diǎn)仍需進(jìn)一步突破。

商業(yè)化方面，中科卓爾的空白掩模版已通過路維光電、龍圖光罩和國(guó)內(nèi)多家自研光刻機(jī)等企業(yè)驗(yàn)證。目前中科卓爾成都中試線已完成工藝與產(chǎn)品驗(yàn)證，本輪融資將重點(diǎn)推進(jìn)量產(chǎn)能力建設(shè)。（校對(duì)/趙月）