諾思“一種空氣隙型壓電體聲波器件異質集成方法和該器件”專利獲授權

作者：愛集微 12小時前

來源：愛集微 #諾思#

2169

天眼查顯示，諾思（天津）微系統(tǒng)有限責任公司近日取得一項名為“一種空氣隙型壓電體聲波器件異質集成方法和該器件”的專利，授權公告號為CN109802645B，授權公告日為2025年3月14日，申請日為2018年12月26日。

本發(fā)明提供一種空氣隙型壓電體聲波器件異質集成方法，其特征在于，包括：使用軟印章將體聲波器件薄膜從供體基底上提起；使用軟印章將體聲波器件放到CMOS電路上方的中間層上，并同時使體聲波器件位于中間層的指定位置，指定位置具有空腔，或者指定位置具有支撐結構及犧牲層。該方法運用材料轉移印刷技術將可轉移體聲波器件轉移至目標系統(tǒng)平臺上，最終形成3D堆疊式集成結構。該方法的優(yōu)勢在于：更低的成本、更高的集成度、更低的操作溫度要求以及更短的操作時間。