4月24日，中微公司發(fā)布公告稱，公司在過去14年保持營業(yè)收入年均增長大于35%的基礎上，2025年第一季度營業(yè)收入繼續(xù)保持高速增長，同比增長35.40%，達到21.73 億元；歸母凈利潤3.13億元，同比增長25.67%。

中微公司指出，公司站在先進制程工藝發(fā)展的最前沿，堅持技術的創(chuàng)新、產品的差異化和知識產權保護的基本原則。堅持原創(chuàng)的設計，和國際領先的半導體客戶公司同步前行。公司針對先進邏輯和存儲器件制造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進存儲器件超高深寬比刻蝕工藝實現(xiàn)量產。公司為先進存儲器件和邏輯器件開發(fā)的六種薄膜設備已經順利進入市場，公司開發(fā)的薄膜設備性能達到國際領先水平，并同步推進多款金屬薄膜氣相設備、新一代等離子體源的PECVD設備的開發(fā)，增加薄膜設備的覆蓋率。公司EPI設備順利進入客戶端量產驗證階段，已完成多家先進邏輯器件與MTM器件（包括MEMS和傳感器、CIS、功率以及射頻器件的超越摩爾器件）客戶的工藝驗證，并且結果獲得客戶高度認可。

在泛半導體設備領域，中微公司正在開發(fā)更多化合物半導體外延設備，陸續(xù)付運至客戶端開展生產驗證。

目前，中微公司在研項目涵蓋六大類，超過二十款新設備的開發(fā)。公司研發(fā)新產品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發(fā)一款新設備，現(xiàn)在只需兩年或更短時間就能開發(fā)出有競爭力的新設備，并順利進入市場，公司有望在未來幾年更大規(guī)模地推出新產品。今年Q1工商研發(fā)投入約6.87億元，較上年同期增加3.26億元，同比增長約90.53%， 研發(fā)投入占公司營業(yè)收入比例約為31.60%，遠高于科創(chuàng)板上市公司的平均研發(fā)投入水平 （10%~15%）。