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歐洲1nm、光芯片試驗(yàn)線啟動(dòng)

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歐洲四大領(lǐng)先研究機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人齊聚一堂,共同啟動(dòng)首批五條歐盟《芯片法案》試驗(yàn)線。

比利時(shí)imec的 Luc Van den hove、法國(guó)CEA-Leti的 Fran?ois Jacq、德國(guó)Fraunhofer-Gesellschaft的Albert Heuberger、意大利Consiglio Nazionale delle Ricerche的Stefano Fabris和西班牙ICFO的Valerio Pruneri與新任歐盟委員會(huì)副主席Henna Virkkunen會(huì)面。試驗(yàn)線旨在彌合研究創(chuàng)新與制造之間的差距,加強(qiáng)CMOS的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)。

由imec主辦的這條耗資14億美元的NanoIC試驗(yàn)線將超越目前正在開(kāi)發(fā)的2nm工藝技術(shù),覆蓋從1nm到7A(0.7nm)工藝。其他合作伙伴包括芬蘭VTT、羅馬尼亞CSSNT、愛(ài)爾蘭廷德?tīng)枃?guó)家研究所以及光刻設(shè)備制造商ASML。

imec還與其他由CEA-Leti協(xié)調(diào)的低功耗FD-SOI(FAMES試點(diǎn)生產(chǎn)線)、由Fraunhofer-Gesellschaft協(xié)調(diào)的異構(gòu)系統(tǒng)集成(APECS試點(diǎn)生產(chǎn)線)以及由ICFO協(xié)調(diào)的光子集成電路(PIXEurope)試點(diǎn)生產(chǎn)線合作,第五條試點(diǎn)生產(chǎn)線由意大利Consiglio Nazionale delle Ricerche領(lǐng)導(dǎo),專注于新型寬禁帶材料(WBG)。APECS生產(chǎn)線已于去年12月啟動(dòng)運(yùn)營(yíng)。

“APECS試驗(yàn)線的一個(gè)關(guān)鍵資產(chǎn)是其分散的結(jié)構(gòu),它結(jié)合了來(lái)自德國(guó)及其他地區(qū)合作伙伴的專業(yè)知識(shí),”Fraunhofer IPMS項(xiàng)目經(jīng)理Kai Zajac表示。

“APECS一站式服務(wù)中心位于柏林,為客戶提供異構(gòu)集成和Chiplet(小芯片)技術(shù)的定制解決方案。在這里,客戶與APECS合作,確定最終產(chǎn)品的最佳路徑。一旦概念成型,APECS龐大的合作伙伴網(wǎng)絡(luò)將與客戶深入合作,打造最終的原型和產(chǎn)品,”他補(bǔ)充道。

法國(guó)格勒諾布爾CEA-Leti的生產(chǎn)線正在開(kāi)發(fā)一種FD-SOI低功耗工藝,工藝精度可達(dá)10nm,超越目前的22nm工藝技術(shù)。(校對(duì)/李梅)


責(zé)編: 李梅
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THE END

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