IEDM 2024

美國(guó)當(dāng)?shù)貢r(shí)間12月7日至11日，2024年IEEE 國(guó)際電子器件會(huì)議（International Electron Devices Meeting，IEDM 2024）在舊金山舉行，華南理工大學(xué)微電子學(xué)院陳榮盛教授課題組在會(huì)議上發(fā)表了題為“High Performance 3D ITZO DGTFTs and Their Application in Wearable Pulse Sensors”（《高性能3D ITZO雙柵薄膜晶體管及其在可穿戴脈搏傳感器的應(yīng)用》）的研究論文。第一作者、微電子學(xué)院博士生林德朗在大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)報(bào)告了相關(guān)研究成果，通訊作者為陳榮盛教授。該研究工作得到了香港科技大學(xué)先進(jìn)顯示與光電子技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室郭海成教授等的指導(dǎo)和支持。這是華南理工大學(xué)首次以第一單位在IEDM會(huì)議上發(fā)表論文。

博士生林德朗在IEDM 2024會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)

雙柵薄膜晶體管（DGTFTs）是一種在傳統(tǒng)薄膜晶體管基礎(chǔ)上改進(jìn)的晶體管結(jié)構(gòu)，具有更好的電學(xué)性能和更高的開關(guān)速度。此外，由于其可控的閾值電壓調(diào)節(jié)特性，在傳感器領(lǐng)域也得到了廣泛的應(yīng)用。該論文展示了陳榮盛教授課題組在金屬氧化物雙柵型薄膜晶體管的最新研究成果，提出了以正辛基三乙氧基硅烷自組裝分子層（OTES-SAMs）作為濺射阻擋層的高介電常數(shù)頂柵介質(zhì)層濺射制備技術(shù)以及創(chuàng)新性的立體溝道層結(jié)構(gòu)，成功制備了性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的3D ITZO DGTFTs。該DGTFTs還表現(xiàn)出優(yōu)越的頂柵電容耦合效應(yīng)、穩(wěn)定性以及機(jī)械柔韌性，使其適用于可穿戴健康監(jiān)測(cè)設(shè)備。由其構(gòu)成的可穿戴脈搏傳感器可以探測(cè)出人體太陽(yáng)穴、手腕以及腳踝等多處部位的脈搏波形，結(jié)合機(jī)器學(xué)習(xí)，可推斷出相應(yīng)的血壓波形，在非侵入式人體生理信號(hào)探測(cè)領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的應(yīng)用潛力。

3D ITZO DGTFTs的結(jié)構(gòu)、電學(xué)性能及其傳感測(cè)試圖

陳榮盛教授簡(jiǎn)介

陳榮盛，華南理工大學(xué)微電子學(xué)院教授，博士生導(dǎo)師，廣東省智能傳感器與專用集成電路工程技術(shù)研究中心副主任，入選廣東省海外引進(jìn)高層次人才，TCL青年學(xué)者，電氣與電子工程師協(xié)會(huì)IEEE高級(jí)會(huì)員，國(guó)際信息顯示協(xié)會(huì)SID北京分會(huì)技術(shù)委員會(huì)委員。主要從事新型薄膜晶體管器件及其集成技術(shù)的研究。主持科研項(xiàng)目10余項(xiàng)，以第一作者或通訊作者在IEEE TED、EDL、IEDM等國(guó)際著名期刊/會(huì)議上發(fā)表論文50多篇，以第一發(fā)明人授權(quán)中國(guó)發(fā)明專利18件，授權(quán)美國(guó)發(fā)明專利4件。