近日，常州煜輝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（簡稱：煜輝半導(dǎo)體）已順利完成近億元A輪融資。本輪融資由深創(chuàng)投及紅土一號(hào)私募股權(quán)投資基金共同出資完成。

常州煜輝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是一家半導(dǎo)體企業(yè)，其子公司江蘇維普光電是一家半導(dǎo)體光掩模檢測(cè)設(shè)備企業(yè)。

常州國家高新區(qū)消息顯示，該公司產(chǎn)品包括IC掩模檢測(cè)、FPD掩模檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、晶圓及掩模量測(cè)三大領(lǐng)域五類產(chǎn)品。其中，半導(dǎo)體掩模檢測(cè)STORM 系列設(shè)備，已全面應(yīng)用于國內(nèi)Maskshop客戶，對(duì)標(biāo)業(yè)界頭部企業(yè)，檢測(cè)精度、效率上超越對(duì)應(yīng)型號(hào)機(jī)型，共累計(jì)出貨近40套。

維普光電成立于2016年9月，其解決方法可滿足苛刻的半導(dǎo)體晶圓制造、半導(dǎo)體掩模版的AOI檢測(cè)，應(yīng)品應(yīng)用于泛半導(dǎo)體、CMOS圖像傳感器、MEMS和RF領(lǐng)域。維普光電產(chǎn)品主要有半導(dǎo)體掩模版檢測(cè)系列，包括Storm2000、Storm3000、IRIS530，以及晶圓檢測(cè)系列，包括Tronado2000、Tronado3000。

常州國家高新區(qū)消息顯示，量產(chǎn)機(jī)型STORM 3000滿足130nm制程，交付華潤微、中微掩模、龍圖光罩、路維光電等客戶。煜輝半導(dǎo)體本輪融資將用于下一代掩模檢測(cè)機(jī)臺(tái)STORM 5000、前道晶圓檢測(cè)Tornado 3000的研發(fā)及生產(chǎn)制造，下一代機(jī)型將應(yīng)用于半導(dǎo)體制造更高制程。（校對(duì)/韓秀榮）