“6英寸時代，我們跟上了市場；8英寸時代，我們正領(lǐng)先全國，并達到世界先進水平。今年，公司投資擴產(chǎn)的重中之重將放在濟南項目上，進而大幅提升8英寸碳化硅襯底產(chǎn)能，快速推進產(chǎn)品升級迭代速度?！比涨?，廣州南砂晶圓半導體技術(shù)有限公司（下稱“南砂晶圓”）董事長王垚浩信心滿滿地對記者表示。
王垚浩口中的“濟南項目”，正是去年于濟南市歷城區(qū)注冊成立的山東中晶芯源半導體科技有限公司（下稱“中晶芯源”）。作為深耕碳化硅襯底及相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)，南砂晶圓計劃將中晶芯源打造成為全國最大的8英寸碳化硅襯底生產(chǎn)基地，投資額15億元，于2025年實現(xiàn)滿產(chǎn)達產(chǎn)。
一子落而全盤活。第三代半導體產(chǎn)業(yè)細分龍頭企業(yè)南砂晶圓的核心生產(chǎn)基地花落山東，是魯信集團直管企業(yè)魯信創(chuàng)投堅定扛牢地方國有創(chuàng)投機構(gòu)使命擔當，充分發(fā)揮優(yōu)質(zhì)科創(chuàng)企業(yè)資源及信息優(yōu)勢，積極為山東省高質(zhì)量招商引資搭建“橋梁”的又一例證。
龍年春節(jié)后首個工作日召開的山東省高水平開放暨高質(zhì)量招商引資大會，向全省發(fā)出了深化大開放、拓展大招商的動員令。魯信集團黨委書記、董事長陳秀興講到：“多年來，魯信集團發(fā)揮旗下魯信創(chuàng)投等直管企業(yè)優(yōu)勢，持續(xù)縱深布局‘硬’科技領(lǐng)域，挖掘賦能‘高’科技項目，著力搭建擁有關(guān)鍵核心技術(shù)、創(chuàng)新能力突出的優(yōu)質(zhì)企業(yè)‘朋友圈’。下一步，我們將更加積極主動地聚創(chuàng)新之勢、匯合作之力，充分挖掘第一手的資源和信息，助力山東通過高質(zhì)量招商引資引進新變量、培育新動能、塑成新優(yōu)勢，積蓄高質(zhì)量發(fā)展新勢能。”
4英寸起步、6英寸追趕、8英寸領(lǐng)先
——“國外行業(yè)龍頭企業(yè)的30多年，我們僅用5年就趕上了”
隨著新能源汽車產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展、國家“雙碳”目標的明確提出，以碳化硅、氮化鎵等材料為代表的第三代半導體已成為全球半導體產(chǎn)業(yè)新的戰(zhàn)略競爭高地。其中，作為技術(shù)應用最為成熟的襯底材料，碳化硅襯底更是在市場上“一片難求”，堪稱新興材料“寵兒”。
眾所周知，因具備禁帶寬度大、熱導率高、臨界擊穿場強高、電子飽和漂移速率高等特點，碳化硅襯底可有效突破傳統(tǒng)硅基半導體器件及其材料的物理極限，開發(fā)出更加滿足高壓、高溫、高功率、高頻等要求的新一代半導體器件，目前已在5G通信、軌道交通、新能源汽車及充電樁、新能源、儲能、大數(shù)據(jù)中心、工控等領(lǐng)域展開廣泛應用場景。
“碳化硅功率器件在新能源汽車中的滲透率正在快速提升，目前主要應用于主驅(qū)逆變器、車載充電單元（OBC）、DC/DC車載電源轉(zhuǎn)換器和大功率DC/DC充電器等領(lǐng)域，可在大功率、大電流等條件下有效降低損耗、提高效率并縮小器件尺寸與重量，進而顯著提升消費者對新能源汽車最為關(guān)注的續(xù)航能力與充電效率，并降低整車成本。”王垚浩向記者介紹道，例如主驅(qū)逆變器搭載碳化硅基MOSFET之后，基于系統(tǒng)效率的整體提升，可節(jié)電5%至10%，僅此一項成本節(jié)省空間便超過5000元。“正因于此，截至今年年初，配備碳化硅功率器件的新能源車型相較去年同期，已增長了數(shù)倍。”
然而，一邊是爆發(fā)式攀升的市場需求及百億級空間，一邊卻是碳化硅襯底制備領(lǐng)域高企的技術(shù)與工藝壁壘——既硬且脆的材料特性，考驗重重的切割、研磨、拋光等加工環(huán)節(jié)，因尺寸變大呈幾何倍數(shù)增加的生長、工藝難度，需重點解決的應力開裂、翹曲度過大等問題……
“這一產(chǎn)業(yè)在國外已經(jīng)發(fā)展了30多年，美、歐、日等加速搶占全球第三代半導體市場,已形成三足鼎立之勢。隨著全球貿(mào)易摩擦持續(xù)，半導體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石，一直是‘兵家必爭’的焦點?！痹谕鯃惡瓶磥?，用最短的時間突破技術(shù)關(guān)鍵“瓶頸”，解決“卡脖子”問題，追趕上世界碳化硅襯底制備技術(shù)水平，正是我國第三代半導體從業(yè)者的責任與使命、挑戰(zhàn)與機遇。
2018年，秉持“聚沙成晶、科技報國”的愿景，依托山東大學晶體材料國家重點實驗室徐現(xiàn)剛教授團隊的技術(shù)成果，南砂晶圓于廣州市南沙區(qū)注冊成立。
“在技術(shù)團隊逾10年的研發(fā)積累下，我們很快突破了碳化硅單晶生長及襯底制備技術(shù)，為其國產(chǎn)商業(yè)化奠定了良好基礎(chǔ)。但這一行業(yè)除頗高的技術(shù)門檻外，還具備資金投入大、資本密集的特性，僅一臺加工或檢測設備便高達千萬元。只有加強資本運作，切實推進‘四鏈融合’，才有望實現(xiàn)橫向、縱向擴展，進一步夯實并提高市場份額。”王垚浩對記者表示。
2021年，為搶抓第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略機遇，在半導體尤其是碳化硅行業(yè)計劃進行深度挖掘并較早布局的魯信創(chuàng)投，憑借對科創(chuàng)型項目的專業(yè)辨別能力與賽道把握能力，在嚴格審計及評估的基礎(chǔ)上，敏銳發(fā)掘出南砂晶圓這一創(chuàng)新能力突出、成長空間可觀的優(yōu)質(zhì)項目。當年5月，魯信創(chuàng)投成為南砂晶圓A輪融資領(lǐng)投方，投資逾億元，自此開啟了雙方攜手奮進的序幕。
在“真金白銀”的有力加持，以及魯信創(chuàng)投覆蓋核心耗材、襯底生產(chǎn)、芯片設計、晶圓制造、模塊封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈的投資布局賦能下，南砂晶圓技術(shù)成果加速迭代，長晶與生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)良率持續(xù)提升——2021年啟動導電型襯底研發(fā)，2022年領(lǐng)先行業(yè)研發(fā)出8英寸襯底并完成主要下游客戶驗證，2023年導電型襯底對部分客戶進入批量供貨階段……
“從6英寸到8英寸，襯底面積擴大了近1.8倍，但難度系數(shù)是呈幾何倍數(shù)提升的。這個過程中，魯信創(chuàng)投給予了我們極大的支持與信任，確保公司能夠心無旁騖地在提升長晶良率、綜合良率方面持續(xù)加大研發(fā)力度，著力提高加工工藝水平，并搭建起國內(nèi)第一條完整的全自動激光切割流程設備線，實現(xiàn)了從零到一的突破?！蓖鯃惡票硎?。
正是得益于對第三代半導體產(chǎn)業(yè)的深刻理解，以及在前瞻性技術(shù)研發(fā)布局上的不遺余力，南砂晶圓從4英寸起步、6英寸追趕到如今的8英寸領(lǐng)先，蹄疾而步穩(wěn)，勇毅而篤行。
“通過多措并舉，各環(huán)節(jié)協(xié)同發(fā)力，目前公司8英寸襯底產(chǎn)品各項技術(shù)參數(shù)已經(jīng)位列國內(nèi)第一梯隊，并達到世界先進水平。在這一領(lǐng)域，國外行業(yè)龍頭企業(yè)發(fā)展了30多年，我們僅用5年就趕上了。當下國外已經(jīng)‘卡’不住我們了，差距只是在產(chǎn)能上?！蓖鯃惡菩牢壳因湴恋卣f道。
找準產(chǎn)業(yè)契合點、捕捉企業(yè)關(guān)注點
——選擇山東、落地山東、攜手山東
而如何在最短時間內(nèi)實現(xiàn)產(chǎn)能攀升，滿足持續(xù)旺盛的市場需求，打破“一片難求”的供給現(xiàn)狀，確保高質(zhì)穩(wěn)定的供應能力，進而為推動我國新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展、培育壯大現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供有力支撐，成為南砂晶圓第二個“五年規(guī)劃”中的重中之重。
在王垚浩看來，隨著技術(shù)工藝的日益成熟、制備難度及成本的逐步下降以及產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同完善，碳化硅襯底價格下降趨勢已然明朗，且較為可觀。“對于行業(yè)發(fā)展而言是好事，必將進一步拓展應用場景?？梢灶A見，未來只要涉及電力電子器件領(lǐng)域，在居民生活、工業(yè)生產(chǎn)的方方面面都會出現(xiàn)碳化硅的身影，空調(diào)、電冰箱……將更加節(jié)能省電、長久耐用。而這也對當下本就供不應求的襯底產(chǎn)能，提出了更高要求。”
基于此預期，在成立5周年之際，南砂晶圓對下一個5年的任務目標進行了調(diào)整明確。
“創(chuàng)業(yè)的前5年，我們的重點任務是通過持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新，實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，搭建起自主、核心技術(shù)體系。如今進入第二個5年，公司將著力在規(guī)?；a(chǎn)上下功夫，迅速提升產(chǎn)能，確保穩(wěn)定供應，力爭在未來5年內(nèi)邁入這一行業(yè)的世界前列?！蓖鯃惡茢S地有聲。
而這一擴產(chǎn)計劃，讓同時身為南砂晶圓重要投資人以及山東地方國有創(chuàng)投機構(gòu)的魯信創(chuàng)投，嗅到了機遇，找到了契合點。
“南砂晶圓擴產(chǎn)計劃的醞釀、討論、調(diào)研以及最后敲定，我們在投后服務中均全程參與，第一時間掌握了準確消息。經(jīng)過多年發(fā)展，山東省第三代半導體產(chǎn)業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，潛力可觀。為助力山東搶抓產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略機遇，我們認為引入南砂晶圓這一行業(yè)龍頭企業(yè)，將進一步優(yōu)化第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，提升產(chǎn)業(yè)整體競爭力，進而帶動全省電子信息產(chǎn)業(yè)的融合發(fā)展?！濒斝艅?chuàng)投副總經(jīng)理葛效宏對記者說道。
為此，魯信創(chuàng)投積極靠上、精準對接、聚焦發(fā)力、靶向出擊，在找準產(chǎn)業(yè)契合點、捕捉企業(yè)關(guān)注點的基礎(chǔ)上，協(xié)調(diào)山東各方資源以先發(fā)深厚的研發(fā)積淀、高端多層次的人才支撐、真材實料的產(chǎn)業(yè)空間、真金白銀的惠企政策、長期向好的營商環(huán)境……吸引南砂晶圓最終選擇山東、落地山東、攜手山東。
“8英寸襯底具備更大的芯片利用面積及成本優(yōu)勢，我們計劃在濟南項目全部建設8英寸襯底產(chǎn)能，逐步將其打造為公司主力產(chǎn)品，進而在以6英寸襯底為主的市場供給結(jié)構(gòu)中實現(xiàn)異軍突起、彎道超車?！蓖鯃惡茖τ浾咄嘎?。
值得注意的是，在魯信創(chuàng)投積極對接關(guān)鍵材料提供方及上下游供應商的助力下，南砂晶圓濟南項目中高達99%的原材料、95%的主要生產(chǎn)設備將實現(xiàn)國產(chǎn)化，達到行業(yè)領(lǐng)先水平?！白鳛樘蓟枰r底行業(yè)龍頭企業(yè)，南砂晶圓在大力提升國產(chǎn)化率方面發(fā)揮的領(lǐng)軍帶頭作用，也將有力促進山東補齊產(chǎn)業(yè)鏈缺失環(huán)節(jié)，促進產(chǎn)業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)緊密配套、融通發(fā)展，打造空間集聚、功能關(guān)聯(lián)的第三代半導體產(chǎn)業(yè)集群?！备鹦Ш瓯硎?。
先期投資布局、一手資源信息、創(chuàng)新招引途徑
——“將對接更多龍頭企業(yè)、重點工業(yè)企業(yè)來魯投資”
高質(zhì)量招商引資的“高”，體現(xiàn)在招引的視野理念、機制手段、產(chǎn)業(yè)層次和項目質(zhì)量上——而這，同樣是魯信創(chuàng)投縱深布局“硬科技”項目、“長周期”扶持創(chuàng)新型科技企業(yè)、“全流程”賦能實體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵詞。
為主動在“雙循環(huán)”格局中找準定位，勇于在“全方位”開放中擁抱未來，善于在“新競合”態(tài)勢中把握機遇，魯信創(chuàng)投緊跟國家戰(zhàn)略，持續(xù)聚焦新一代信息技術(shù)、高端裝備制造、醫(yī)療大健康、新能源、新材料、半導體、航空航天等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，助力山東集中力量攻堅突破，通過引進標志性牽引性大項目，大力提升創(chuàng)新驅(qū)動力，優(yōu)化調(diào)整生產(chǎn)力布局，延鏈補鏈強鏈、做大做精做強，助力培育一批具有全國乃至全球影響力的產(chǎn)業(yè)鏈。
除迅速響應《山東省第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》，在半導體尤其是碳化硅行業(yè)持續(xù)進行深度挖掘并較早布局，投資覆蓋核心耗材、襯底生產(chǎn)、芯片設計、晶圓制造、模塊封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈，并成功引入南砂晶圓、艾恩半導體落地山東以外，魯信創(chuàng)投還積極助力山東在航天航空方面勇當創(chuàng)新標桿，已先期投資藍箭航天、微焓科技、鴻俠科技等行業(yè)龍頭企業(yè)，并持續(xù)助推其與山東企業(yè)加強合作，力爭盡快落地山東。
“目前，公司90%以上的資金投資在‘硬科技’領(lǐng)域，已成功投資培育了一批新材料、高端制造等領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)。作為山東省重要投融資主體和資產(chǎn)管理平臺——魯信集團旗下從事創(chuàng)業(yè)投資業(yè)務的核心板塊，我們將圍繞山東產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)有基礎(chǔ)及戰(zhàn)略布局，借助一手資源及信息，通過精準招商、產(chǎn)業(yè)鏈招商、以商招商、資本招商等創(chuàng)新途徑，積極對接更多龍頭企業(yè)、重點工業(yè)企業(yè)來山東投資，在‘進’上尋求突破，在‘立’上厚植優(yōu)勢。”魯信創(chuàng)投黨委書記、董事長王旭冬對記者表示。
