2025第九屆集微半導(dǎo)體大會(huì)于7月3日—5日在上海張江科學(xué)會(huì)堂盛大舉行，本次活動(dòng)匯聚半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游“產(chǎn)學(xué)研用”行業(yè)精英、資本巨頭與專家學(xué)者，共話中國“芯”未來。

在7月4日舉辦的第三屆集微半導(dǎo)體制造峰會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈突破獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)典禮上，宇電溫控科技總裁助理田龍帶來《精密溫度控制技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用與價(jià)值體現(xiàn)》精彩演講，其從精密溫控器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的重要性，宇電溫控科技在半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展歷程、核心技術(shù)、產(chǎn)品競爭優(yōu)勢、合作客戶及規(guī)模出貨等維度，深入剖析了半導(dǎo)體領(lǐng)域精密溫控國產(chǎn)化歷程、發(fā)展現(xiàn)狀，并展望了未來自主可控的發(fā)展藍(lán)圖。

溫控器：半導(dǎo)體制造中的“小巨人”

溫控器雖看似普通，卻在國民經(jīng)濟(jì)的眾多領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用，從傳統(tǒng)工業(yè)的注塑機(jī)、電爐等熱工設(shè)備，到醫(yī)療設(shè)備中的PCR基因擴(kuò)增儀器，以及高端的半導(dǎo)體設(shè)備，如光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、熱處理、CMP、清洗、檢測/量測等前道工藝，固晶、塑封、測試、分選、探針、老化測試、烘箱、鍵合等后道工藝等，都離不開溫控設(shè)備的精準(zhǔn)調(diào)控。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，雖然溫控器占設(shè)備成本不足1%，卻能撬動(dòng)幾十倍，甚至上百倍的巨大價(jià)值。以擴(kuò)散工藝為例，若溫度控制不佳，將直接影響薄膜的均勻性、雜質(zhì)分布的均勻性，進(jìn)而影響最終產(chǎn)品的良率和性能。從安全層面看，溫控器的精準(zhǔn)控制能避免設(shè)備故障甚至安全事故的發(fā)生。此外，良好的溫控還能顯著降低能耗成本。

宇電溫控科技成立于1991年，公司35年來只做一件事：始終專注于溫控技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)與創(chuàng)新。

據(jù)田龍介紹，公司擁有豐富的溫控產(chǎn)品線，包括導(dǎo)軌型多路溫控器、盤裝型單路溫控器、大屏溫控器、耐高溫多路溫度采集模塊等等，測量精度最高可達(dá)0.05級(jí)，滿足不同場景的需求。作為國家高新技術(shù)企業(yè)及專精特新“小巨人”企業(yè)，2023年宇電溫控科技全球出貨量超越了競爭對(duì)手，位居行業(yè)第一。公司參與了50多項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)的制定，擁有6萬平方米的廠房，年規(guī)劃產(chǎn)能達(dá)1000萬臺(tái)。

精密溫控：技術(shù)領(lǐng)先背后的創(chuàng)新密碼

多年來，宇電溫控科技不斷實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破。1991年國內(nèi)首創(chuàng)PID自整定技術(shù)及推出XCC系列可編程輸入輸出智能溫控儀；1998年率先推出帶自我優(yōu)化功能的溫控器，并首創(chuàng)可拔插模塊化結(jié)構(gòu)儀表，使小批量多品種的儀表生產(chǎn)大為簡化；2006年建筑面積達(dá)1萬平方米的宇電科技大廈正式投入使用；2012年推出4路PID溫度控制器被科學(xué)技術(shù)部等四大權(quán)威部門評(píng)為“國家重點(diǎn)新產(chǎn)品”稱號(hào)，引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展。2014年首創(chuàng)推出7寸觸摸屏操作方式的智能溫控器/調(diào)節(jié)器，公司成為工業(yè)軟件領(lǐng)域的國家重點(diǎn)軟件企業(yè)。

2022年，宇電溫控科技在高端溫控器領(lǐng)域?qū)M(jìn)口產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)技術(shù)超越，同時(shí)在光伏行業(yè)實(shí)現(xiàn)大面積覆蓋；2024年在深圳設(shè)立4000平方米的辦公用地，打造華南區(qū)域技術(shù)研發(fā)及客戶服務(wù)中心。2025年，公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域取得大批量突破，與眾多半導(dǎo)體頭部客戶達(dá)成深度合作。

據(jù)記者了解，宇電溫控科技是國內(nèi)唯一進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)品牌，在光伏行業(yè)的市占率位居第一。公司的客戶群體涵蓋半導(dǎo)體、光伏、鋰電池各領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，如北方華創(chuàng)、微導(dǎo)、比亞迪、寧德時(shí)代、捷佳偉創(chuàng)等，同時(shí)與眾多985高校、科研院所建立了長期合作關(guān)系。

在技術(shù)創(chuàng)新方面，宇電溫控科技的算法優(yōu)勢尤為突出。其自創(chuàng)的串級(jí)控制自動(dòng)定標(biāo)自適應(yīng)技術(shù)，通過自動(dòng)定標(biāo)功能，極大簡化了調(diào)試流程，降低了工程師的使用門檻。與傳統(tǒng)海外品牌相比，公司的產(chǎn)品在精度、穩(wěn)定性、抗干擾能力等核心指標(biāo)上均處于行業(yè)領(lǐng)先水平。在實(shí)際應(yīng)用中，公司的溫控器能夠?qū)崿F(xiàn)精準(zhǔn)測量、穩(wěn)定控制，滿足客戶對(duì)溫度控制的嚴(yán)格要求，同時(shí)在能耗方面表現(xiàn)出色，為客戶帶來顯著的成本節(jié)約。

在原材料供應(yīng)方面，宇電專業(yè)定制了高性能24BIT定制A/D芯片，田龍表示，“過去公司采用別人的芯片，那么算法、硬件設(shè)計(jì)就要去適配芯片，而定制芯片后，我們可以讓芯片去適配公司的硬件、算法?！?/p>

軟硬件的同步加持，讓宇電的產(chǎn)品性能在行業(yè)領(lǐng)先于同行，最高測量精度（0.05級(jí)）、高分辨率測量能力（0.001℃）、最快采樣速度（20ms）、最高控溫精度（0.002℃）、50Hz抗干擾性能（120dB）、低溫漂（＜25ppm/℃）等主要技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到行業(yè)頂尖水平。

據(jù)田龍介紹，要實(shí)現(xiàn)如上高性能指標(biāo)，既要求宇電溫控科技在硬件設(shè)計(jì)上進(jìn)行保障，又要對(duì)軟件算法進(jìn)行創(chuàng)新突破，而宇電溫控科技自研的高精度儀表具有精準(zhǔn)測量、穩(wěn)定控制的特點(diǎn)，溫漂更低，有效降低設(shè)備的運(yùn)行溫度，直觀實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。

可靠性方面，田龍直接用兩個(gè)案例進(jìn)行佐證，一是宇電溫控科技于2019~2023年間累計(jì)向國內(nèi)某頭部鋰電池廠家發(fā)貨5.7萬臺(tái)四路溫控器，至2024年1~10月僅收到返修儀表7臺(tái)，5年累計(jì)僅收到40臺(tái)返修儀表，累計(jì)返修率0.07%。

二是宇電溫控科技于2022~2023年間累計(jì)向國內(nèi)某頭部光伏設(shè)備商發(fā)貨25萬臺(tái)串級(jí)溫控

器，至今累計(jì)收到返修儀表僅34臺(tái)，累計(jì)返修率0.014%，表現(xiàn)出極強(qiáng)的穩(wěn)定可靠性。

介紹中，田龍進(jìn)一步以AI-8848型號(hào)前道設(shè)備用溫控器與多個(gè)美資、日資同類競品進(jìn)行參數(shù)比較，發(fā)現(xiàn)該設(shè)備在采樣速度、測量精度、控制周期、整機(jī)功耗、顯示分辨率、溫漂、通道間隔離耐壓、額定工作溫度等多個(gè)指標(biāo)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)領(lǐng)先。

案例實(shí)踐：優(yōu)秀表現(xiàn)下的三大價(jià)值守護(hù)

接著田龍通過多個(gè)實(shí)際案例來進(jìn)一步說明宇電溫控科技精密溫控產(chǎn)品的先進(jìn)性以及在半導(dǎo)體領(lǐng)域的完美適用能力。

在碳化硅襯底生長過程中，設(shè)備在宇電溫控科技溫控器控制下，實(shí)際升溫過程與溫度設(shè)定曲線高度貼合；在恒溫階段，設(shè)備能夠精準(zhǔn)控制2200℃的高溫，且溫度波動(dòng)≤±0.5℃，滿足客戶對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)格要求。

在前道濕法工藝中，宇電溫控科技的產(chǎn)品在升溫、恒溫階段表現(xiàn)出色，其中升溫階段平均用時(shí)＜45秒，恒溫階段平均溫差控制在＜0.016℃的極小范圍內(nèi)，顯著提升了生產(chǎn)效率。

在前道核心設(shè)備高溫腔室金屬底座的對(duì)比測試中，與海外品牌產(chǎn)品相比，宇電溫控科技產(chǎn)品在低溫、高溫切換過程中，溫差控制更優(yōu)，回溫速度更快，展現(xiàn)了強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力。

據(jù)記者了解，宇電溫控科技在半導(dǎo)體前道設(shè)備中的應(yīng)用主要集中在高精度、多功能的精密溫控上，產(chǎn)品支持多種輸入輸出方式，滿足不同客戶的需求，不僅性能卓越，還具有高度集成的特點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)多通道采集和集中控制，滿足復(fù)雜工藝的精密制造要求。

除了與同類競品對(duì)比，田龍還將宇電溫控科技的溫控器產(chǎn)品與PLC進(jìn)行比較，各項(xiàng)測試指標(biāo)顯示，“宇電溫控器超欠調(diào)和恒溫測試結(jié)果全面優(yōu)于PLC”。

憑借專業(yè)的技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和高效的服務(wù)，宇電溫控科技的溫控器在半導(dǎo)體行業(yè)客戶端的實(shí)際應(yīng)用中，展現(xiàn)了出色的性能和穩(wěn)定性，同時(shí)也贏得了客戶的高度認(rèn)可。

田龍總結(jié)認(rèn)為，宇電溫控科技的溫控技術(shù)及產(chǎn)品在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的價(jià)值主要體現(xiàn)在三個(gè)方面：一是通過精準(zhǔn)的溫度控制，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率、良率和性能；二是從原材料到產(chǎn)品質(zhì)量的嚴(yán)格把控，確保供應(yīng)鏈的安全和產(chǎn)品的可靠性；三是通過優(yōu)化的控制算法和高效的能耗管理，為客戶節(jié)省運(yùn)營成本。

演講最后，田龍表示，宇電溫控科技35年來專注于溫控技術(shù)，以創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)，以客戶為中心，致力于為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供最優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。公司相信，通過持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新和不懈的努力，宇電溫控科技將在半導(dǎo)體溫控領(lǐng)域創(chuàng)造更多的價(jià)值，助力產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。