6月30日，北交所正式受理了中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（簡稱：中科儀）IPO申請。

中科儀是中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司產(chǎn)品主要包括用于集成電路晶圓制造及光伏電池等泛半導(dǎo)體產(chǎn)品制造的干式真空泵，以及面向國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施和科研領(lǐng)域的真空科學(xué)儀器設(shè)備。

干式真空泵領(lǐng)域，中科儀的研發(fā)創(chuàng)新打破歐美及日本企業(yè)的長期壟斷：干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國各領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)實現(xiàn)大批量應(yīng)用，廣泛支持中芯國際、長江存儲、華虹集團、長鑫存儲、華潤微、上海積塔、廣州粵芯等國內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及北方華創(chuàng)、拓荊科技、客戶A等國內(nèi)主流半導(dǎo)體設(shè)備廠，并 已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導(dǎo)體外，公司干式真空泵產(chǎn)品也可廣泛應(yīng)用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導(dǎo)體的制備，并已實現(xiàn)批量交付。

中科儀是集成電路領(lǐng)域出貨量最大的國產(chǎn)干式真空泵制造企業(yè)，是唯一在集成電路先進制程實現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現(xiàn)批量應(yīng)用的國產(chǎn)企業(yè)，有效保障了我國集成電路制造設(shè)備關(guān)鍵部件的自主可控和供應(yīng)鏈安全。真空科學(xué)儀器設(shè)備領(lǐng)域，公司先后承擔(dān)北 京正負電子對撞機、蘭州重離子加速器、合肥國家同步輻射裝置、上海三代光源、北京高能同步輻射光源、上海硬X射線自由電子激光裝置等11項國家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)工作，是我國大科學(xué)裝置關(guān)鍵真空部件光束線、波蕩器、前端區(qū)等的最主要研制單位，其中公司作為上海光源主要參與者，于2013年獲得國家科技進步一等獎。另外，公司前身成功研制了第一臺國產(chǎn)分子束外延設(shè)備（MBE），打破國外長期禁運，在科研用MBE設(shè)備研制領(lǐng)域居于國內(nèi)領(lǐng)先地位。

2022-2024年，中科儀實現(xiàn)營業(yè)收入分別為6.98億元、8.52億元、10.82億元；對應(yīng)的凈利潤分別為4.98億元、6億元、1.93億元。

此次IPO，中科儀擬募資8.52億元，投建于干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目、高端半導(dǎo)體設(shè)備擴產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目。

其中，干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目通過新建廠房、購置高端生產(chǎn)設(shè)備、裝配智能化產(chǎn)線，提升公司干式真空泵的生產(chǎn)能力，形成年產(chǎn)20,040臺干式真空泵的生產(chǎn)能力；裝配產(chǎn)線方面，將實現(xiàn)物流移動50%自動化，即自動保管、自動輸入、自動輸出及智能化，并逐步實現(xiàn)智能化；加工產(chǎn)線 方面，將采取H-MC臥式加工方式并通過FMS方式實現(xiàn)自動等待以及根據(jù)日程安排自動加工，將實現(xiàn)90%以上的自動化及智能化；市場方面，利用前期積累的客戶和不斷導(dǎo)入的客戶資源，積極配合客戶的工藝測試，滿足客戶的生產(chǎn)需求，實現(xiàn)業(yè)績快速增長。

而高端半導(dǎo)體設(shè)備擴產(chǎn)項目所生產(chǎn)的H系列干式真空泵是集成電路設(shè)備中的重要配套設(shè)備之一，廣泛用于刻蝕、PVD、CVD等集成電路制造部分工藝中，也可應(yīng)用于包括太陽能光伏行業(yè)在內(nèi)的泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。同時，本項目也將擴產(chǎn)少量渦旋泵，主要用于科研、工業(yè)、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

此外，新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項目將針對半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)超高速節(jié)能泵、超高溫泵等新一代干式真空泵產(chǎn)品，同時面向泛半導(dǎo)體、工業(yè)真空、儀器制造、科學(xué)研究等市場開發(fā)大抽速干式螺桿真空泵及羅茨螺桿真空泵機組。項目完成后將豐富公司產(chǎn)品體系、增強產(chǎn)品優(yōu)勢，同時進一步拓展干泵產(chǎn)品的應(yīng)用范圍，拓寬市場發(fā)展空間。此外，本項目還將建設(shè)數(shù)字化管理平臺，從而對產(chǎn)品研發(fā)以及日后的相關(guān)業(yè)務(wù)進行一體化管理，為業(yè)務(wù)發(fā)展提供可靠支撐。