1月15日，和遠(yuǎn)氣體發(fā)布公告稱，近日，公司取得了1項發(fā)明專利，專利名稱為“一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”，專利號為ZL202111321362.7。
公告顯示，該發(fā)明專利是一種以工業(yè)產(chǎn)品氣體為原料，采用高分子滲透膜、金屬陽離子交換樹脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結(jié)合，可將組分中CO2雜質(zhì)脫除至0.1ppm以下、金屬離子含量脫除至10ppt以下；所述制備工藝擺脫了現(xiàn)有技術(shù)對原料的依賴，在生產(chǎn)超高純氯化氫氣體的同時產(chǎn)生多種品質(zhì)的氯化氫氣體，尾氣減少的同時易于處理，適用于工業(yè)化推廣。
和遠(yuǎn)氣體表示，此項發(fā)明專利的取得，不會對公司的生產(chǎn)經(jīng)營和經(jīng)營業(yè)績產(chǎn)生重大影響，但有利于公司在電子特氣領(lǐng)域的技術(shù)儲備與技術(shù)提升，對公司在電子特氣領(lǐng)域進(jìn)一步發(fā)展提供技術(shù)支持。
（校對/黃仁貴）
