康寧主要以其智能手機(jī)用加固玻璃而聞名,本周,康寧與美國(guó)商務(wù)部簽署了一項(xiàng)初步協(xié)議,根據(jù)該協(xié)議,康寧將獲得《芯片法案》提供的3200萬(wàn)美元補(bǔ)貼。
康寧制造各種玻璃材料來(lái)制造光掩模,例如高純度熔融石英、超低膨脹(ULE)和極端(Extreme)ULE玻璃。ULE和極端ULE材料的一大優(yōu)勢(shì)是其極低的熱膨脹,可確保在嚴(yán)苛的EUV環(huán)境中保持最大的一致性,并具有出色的均勻性,可減少光掩模的“波紋”,從而最大限度地減少電路變化。
康寧的ULE玻璃用于制造DUV和EUV光刻的光掩模,而Extreme ULE材料則有望用于下一代高數(shù)值孔徑EUV光刻。
確保美國(guó)使用先進(jìn)的DUV、低NA EUV和高NA EUV工具的公司能夠獲得制造光掩模的材料,對(duì)于整個(gè)行業(yè)以及英特爾、格羅方德、臺(tái)積電、德州儀器和三星代工廠等公司來(lái)說(shuō)都至關(guān)重要。
康寧的3200萬(wàn)美元資金將用于擴(kuò)建其位于紐約州坎頓的制造工廠,以增加高純度熔融石英 (HPFS)和Extreme ULE玻璃等專用材料的產(chǎn)量。該項(xiàng)目將增加130個(gè)制造崗位和175個(gè)建筑崗位。