9月25日,第十二屆(2024年)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)、第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(CSEAC 2024)在無(wú)錫隆重開幕。蘇州芯??萍加邢薰荆ㄒ韵潞?jiǎn)稱“芯睿科技”)應(yīng)邀參會(huì)。
芯??萍甲猿闪⒁詠?lái),憑借多年來(lái)強(qiáng)大的產(chǎn)品開發(fā)能力,已經(jīng)成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)鍵合設(shè)備的龍頭企業(yè),作為領(lǐng)先的臨時(shí)鍵合、永久鍵合整體方案提供商,芯睿科技步步為營(yíng),現(xiàn)已服務(wù)國(guó)內(nèi)外一線大廠,在不斷構(gòu)筑自身技術(shù)護(hù)城河的同時(shí),也拓寬并深化了國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)哲學(xué)與經(jīng)營(yíng)理念。
本次年會(huì)上,芯??萍贾攸c(diǎn)展示了公司在鍵合設(shè)備市場(chǎng)上雄厚的技術(shù)實(shí)力和研發(fā)積累,同時(shí)向與會(huì)者分享Carriera系列的臨時(shí)鍵合/解鍵合設(shè)備,Aviator系列臨時(shí)鍵合和Libera系列激光解鍵合設(shè)備,以及Divina系列永久鍵合機(jī),Striker系列等離子處理機(jī)等公司產(chǎn)品矩陣的產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。
蘇州芯??萍加邢薰炯夹g(shù)副總張飛
除了技術(shù)及解決方案展示,芯??萍技夹g(shù)應(yīng)用副總張飛還帶來(lái)了《永久鍵合技術(shù)在微電子器件中的應(yīng)用與挑戰(zhàn)》主題演講,其從永久鍵合技術(shù)及其應(yīng)用、永久鍵合過(guò)程、永久鍵合技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)、芯睿永久鍵合解決方案4個(gè)方面進(jìn)行分享。
張飛結(jié)合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)及應(yīng)用需求,分享了微電子器件(芯片封裝、多層互連、微機(jī)電系統(tǒng))、光電子器件(激光器封裝、光纖放大器)、生物電子器件(生物傳感器、植入式醫(yī)療器件)等領(lǐng)域?qū)A永久鍵合技術(shù)的需求。
張飛認(rèn)為,永久鍵合技術(shù)對(duì)微電子器件產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響,它不僅提升了器件的封裝性能和生產(chǎn)效率,還促進(jìn)了技術(shù)創(chuàng)新,改善了器件性能,并帶來(lái)了新的市場(chǎng)機(jī)遇。如3D集成技術(shù)應(yīng)用,永久鍵合技術(shù)是實(shí)現(xiàn)三維集成設(shè)備的重要手段,有助于滿足移動(dòng)設(shè)備對(duì)更小電路尺寸的需求;永久鍵合技術(shù)還為扇出型晶圓級(jí)封裝(FOWLP)、2.5D等先進(jìn)封裝形式提供了技術(shù)支持,有助于實(shí)現(xiàn)異構(gòu)系統(tǒng)的集成。
目前業(yè)內(nèi)已推出熱壓鍵合、共晶鍵合、固液互擴(kuò)散鍵合、玻璃料鍵合、聚合物鍵合、熔融鍵合、陽(yáng)極鍵合等技術(shù)手段及解決方案,以滿足不同領(lǐng)域的鍵合需求。
不過(guò),隨著新需求、新方案的不斷涌現(xiàn),張飛表示,永久鍵合技術(shù)仍面臨部分挑戰(zhàn),其從高精確度互聯(lián)的技術(shù)難題、高溫環(huán)境下的鍵合穩(wěn)定性問(wèn)題、材料相容性、工藝的復(fù)雜性、可靠性等方面逐一展開分享,張飛認(rèn)為,無(wú)論采取何種鍵合方案,都需要進(jìn)行長(zhǎng)期穩(wěn)定性測(cè)試,以驗(yàn)證永久鍵合技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用中的可靠性和耐久性。
在分享完永久鍵合技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的積極意義、行業(yè)需求、行業(yè)常見(jiàn)解決方案、行業(yè)痛點(diǎn)之后,張飛開始介紹芯睿科技解決方案,并著重向與會(huì)者推介芯睿科技8~12吋永久鍵合設(shè)備、永久鍵合機(jī)SPB-08/12、鍵合對(duì)準(zhǔn)機(jī)SAL-08/SAL-12、等離子激活機(jī)SPL-12等產(chǎn)品及解決方案。
張飛表示:“公司晶圓永久鍵合設(shè)備采用先進(jìn)的技術(shù),能確保鍵合過(guò)程的精度極高,避免誤差產(chǎn)生,提升產(chǎn)品質(zhì)量,助力產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)提升工作效率,降低生產(chǎn)成本,使產(chǎn)品更具競(jìng)爭(zhēng)力,具有高精度永久鍵合、高效率生產(chǎn)流程、兼容性強(qiáng)等特點(diǎn)?!?/p>