日前，上海啟元氣體發(fā)展有限公司（以下簡稱：啟元氣體）與國內(nèi)某半導(dǎo)體公司簽訂大宗氣體供應(yīng)協(xié)議，合同期限15年，啟元氣體將負責(zé)該客戶大宗氣站的建設(shè)和合同期限內(nèi)大宗氣體的供應(yīng)以及系統(tǒng)的運行和維護。

啟元氣體從該客戶建廠以來就是其超純液氧的唯一供應(yīng)商，這次合作是雙方的第二次牽手，對雙方均有重大意義。不僅僅標(biāo)志著該客戶在電子大宗氣體國產(chǎn)化上的重大跨步，也標(biāo)志著啟元氣體在集成電路行業(yè)的重大突破。

上海啟元氣體發(fā)展有限公司成立于2009年，以空分設(shè)備研發(fā)及制造起家，稀缺的“設(shè)計-生產(chǎn)-運營-維護”一體化企業(yè)。業(yè)務(wù)涵蓋電子特氣、電子大宗氣體和半導(dǎo)體設(shè)備。公司具備自研高端稀有氣體提純設(shè)備及生產(chǎn)能力，并打造國內(nèi)首套氪氙和氖氦分離設(shè)備，可供應(yīng)超高純氧、高純氮、超純二氧化碳、超純氪氣、氙氣、氖氣和氦氣以及面板和半導(dǎo)體所需的準(zhǔn)分子激光氣等。

電子大宗氣體包括氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、氦氣、二氧化碳、壓縮干燥空氣等。其應(yīng)用廣泛，涉及多個制造環(huán)節(jié)，如用作晶體生長氣、蝕刻氣、淀集氣、平衡氣以及外延氣。電子大宗氣體用途多，用量大，直接決定了最終芯片的良率和生產(chǎn)線的可靠性。

此外，據(jù)了解，氪、氙氣是一種稀有的工業(yè)氣體，在空氣中的含量極為稀少，隨著科技進步，其特殊的物理特性被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航天、光伏能源、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，加之其分離提取工藝要求較高等原因，價格堪比黃金，因此又被稱為“黃金氣體”。（校對/項睿）